钝化层
实验室制备，采用了光刻、蒸镀、热氧钝化、电镀等技术。PERC电池与常规电池最大的区别在背表面介质膜钝化，采用局域金属接触，大大降低被表面复合速度，同时提升了背表面的光反射。2006年用于对P型PERC电池
的背面的钝化的AlOx介质膜的钝化作用引起大家重视，使得PERC电池的产业化成为可能。随后随着沉积AlOx产业化制备技术和设备的成熟，加上激光技术的引入，PERC技术开始逐步走向产业化。2013年前
降低了锌的消耗速度，从而延长了涂层的保护寿命；VCI系统成功的将涂层的三大保护机制，即屏蔽、电化学保护及缓蚀、钝化融为一体，使系统获得优异的抗蚀性能。第三方检测，仅45um的底漆，抗盐雾腐蚀寿命即达
10000小时，如此高性能不仅大大超过了热浸层的保护性，同时也为包括美国IC531在内的国内外现有富锌涂料所不及。已在光伏行业应用在业界看来，热镀锌是目前世界上应用最广泛的钢材表面处理方法之一，主要作用
。
5.抗蚀性：VCI系统成功的将涂层的三大保护机制，即屏蔽、电化学保护及缓蚀、钝化融为一体，使系统获得优异的抗蚀性能。第三方检测，仅45um的底漆，抗盐雾腐蚀寿命即达1000小时以上，大大超
过了热浸层的保护性。
中国航空发动机集团航空材料研究院副院长骞西昌在致辞中表示，VCI片锌技术是几代航材人不断努力探索创新的科研成果，被国防科工局列为全国十大军转民技术之一，由于其独特
Min et al., 31st EU-PVSEC, Hamburg/Germany, 14.-18. Sept. 2015
P型PERC发展方向
丝印制备Al2O3钝化膜(免ALD，免PECVD、免
多晶硅PERC电池光衰率
3PERT电池
PERT电池的技术进步
减压硼扩散
离子注入磷
BF+/BF2+注入
外延生长掺硼层
快速沉积(RVD)硼扩散层
预制BSG
大大减少表面复合，提升多晶电池的效率。
氧化气体中掺入了氯气、氯化氢、三氯乙烯中的一种或几种，会使氧化层中有一定量的氯原子，从而可以减少钠离子沾污，钝化 SiO2中的钠离子的活性，抑制或消除热氧化
扩散工艺。为了实现上述目的，本文的技术方案是设计一种晶体硅太阳能电池的扩散工艺，包括炉管扩散步骤，在炉管扩散之前，通过光照快速热处理，对硅片进行氧化处理，在硅片表面生成一层均匀的氧化膜。在炉管扩散之后
流动后不再回到原处，这样便形成电流，也就使硅片具有光伏效应;
S14、等离子刻蚀，去除扩散过程中在硅片边缘形成的将 PN 结短路的导电层;
S15、去磷硅玻璃，化学清洗硅片表面，去掉反应形成的
磷硅玻璃;
S16、PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，等离子增强的化学气相沉积 )，即沉积减反射膜，利用薄膜干涉原理，减少光的反射，起到钝化
/GaAs 4cm2 26.9 单片叠层双结太阳电池GaInP/GaAs/Ge 4cm2 25.5 单片叠层双结太阳电池GaInP/GaAs/Ge 4cm2 27.0 单片叠层三结太阳电池◎ 聚光电池GaAs
索比光伏网讯:摘要：以金刚线切割的多晶硅片为基础，正面是低反射率的亚微米级绒面，结合SiOx/SiNx薄膜保证正面的钝化效果。背面采用AlOx/SiNx叠层钝化，形成PERC电池结构，大大改善背表面
钝化就是通过两层不同的介质膜，来修复常规电池所存在的缺陷，进一步提高电池转换效率，通过背钝化技术可以提升电池转换效率0.7%以上，从整个电池成本的角度去衡量，每增加1%的转化效率，制造成本下降8
(音：破壳)技术，它们组成了电池的两面，也造就了1+12的转化效率。
徐州鑫宇光伏科技有限公司副总经理 杨健：我们高效电池技术最关键的一个是正面，一个是背面，正面通过黑硅的技术，背面通过背钝化，背
，从理论上来讲并不合理：PERC电池制备中的激光开槽过程是对背面钝化层开槽，对硅片的损伤不超过1微米，远小于~190微米的硅片厚度。而针对PERC产品的机械性能，我们拿到了以下实验数据。表1：72型单玻
