钝化层

耗量，深度集成的自动化上下料确保了0.05%以下的碎片率，极大的降低了实际使用成本。其最核心的ALD原子层沉积工艺可以在薄膜厚度低至2纳米时依旧对电池表面提供良好的钝化，这是其它技术从原理上就无法达到
性价比最高、对环境更加友好的金刚线多晶提效降本解决方案。江苏微导纳米装备科技有限公司针对光伏市场开发的夸父系列原子层沉积（ALD）设备已经陆续交付客户并投入生产，N型双面电池的量产效率稳定保持在22%以上

是通过增加电池的光吸收方面，比如光陷阱结构，就是通过化学刻蚀或制绒等手段来增加电池的光吸收效率；第二是通过有效分离光生载流子，降低载流子复合来实现电池效率的提高，常用的手段为增加背场、增加钝化层、改善衬底

情况：图7 四种不同注入工艺下的发射极的ECV图钝化可以明显地改善电池表面状态、提升电池的性能，双面电池所需钝化与常规电池相比有其独特的要求。在N+背表面场上，采用SiO2/SiNx叠层钝化膜

）+Al2O3/SiNx钝化层方案，类似于PERC，使得开压达到了尚可接受的0.62V。然而局域接触（1%）付出的代价是，填充因子就比较惨淡了！只有72%到74%的样子。更进一步，如果用局域扩散PERL的话
索比光伏网讯:前言:价值何在？硅基叠层电池技术一直都是量产商用电池实现30%甚至35%超高光电转换效率的最重要的方向之一（如果不是唯一方向的话）。理论上讲带宽匹配、叠层界面匹配都没什么毛病；经济上讲

条焊接拥有20多项专利技术支撑夸父系列-管式原子层沉积镀膜系统高质量超薄ALDAI203钝化膜全自动、高产能、高稳定性超低反应源耗量提升PERC电池光电转换效率近1%最低的设备运营成本和综合成本后羿
系列-板式化学气相沉积/原子层沉积镀膜系统板式空间CVD和ALD技术完美结合高质量单面镀Al2O3钝化膜高产能、低生产成本与黑硅技术相结合，为进一步增强PERC转换效率提供了最佳解决方案WR系列-板式

光伏市场。所谓PERC技术，即钝化发射极背面接触技术，是利用SiNx或Al2O3在电池背面形成钝化层，作为背反射器，增加长波光的吸收，同时将P-N极间的电势差最大化，降低电子复合，从而提升电池转化效率的

单晶硅，正面通过离子注入形成硼掺杂p+发射结，正面采用ALD工艺沉积Al2O3钝化层钝化发射结降低表面复合速率，再用PECVD沉积SiNx形成减反膜。正面光刻工艺开槽后用蒸镀方法形成Ti/Pb/Ag

，这是我们简单的结构图，通过在背面加上一层比较薄的隧穿氧化层，增加背面钝化的接触，通过这样的结构接触，会有一个VOC的提升，还有多晶硅的场钝化，因为所有工艺的流程和设计都是基于现有的产业，能够和产业结合