钝化层

TCA生长氧化层钝化电池正反面2. 正面光刻制成的金字塔(绒面)结构3. 背面硼扩散一般造成高表面复合4. 局部铝扩散制作电池的表面接触

排列整齐的方形沟槽组成，浅发射极n+位于硅片的上表面，在其上有一极薄的氧化隧道层，Al电极倾斜蒸镀于沟槽的侧面，然后利用PECVD蒸镀氮化硅作为钝化层和减反射膜OECO电池有以下特点：(1)电极是蒸

传统工艺的前表面镀敷金属层相比，这种电池具有的优点是：栅电极遮光率小、电流密度高，埋栅电极深入硅衬底内部可增加对基区光生电子的收集，浓磷扩散降低浓磷区电阻功耗和栅指电极与衬底的接触电阻功耗，提高了电池
技术已经转让给好几家世界上规模较大的太阳能电池生产厂。如英国的BP SOLAR和美国的SOLAREX等。激光刻槽埋栅电池的大致工艺流程为：硅片-清洗制绒-淡磷扩散-热氧化钝化-开槽-槽区浓磷扩散-背面蒸铝-烧背场-化学镀埋栅-背面电极-减反射膜-去边烧结-测试。(作者：和海一样的新能源)

索比光伏网讯:PESC、PERC、PERL电池是新南威尔士大学研究了近20年的先进电池系列，前两个子母PE(Passivated Emitter)代表前表面的钝化(选择性扩散)，后两个子母代表后
表面的扩散和接触情况。其中PERL衍生了南京中电的SE电池与尚德的PLUTO电池。PESC(钝化发射极背接触)电池1985年问世,可以做到大于83%的填充因子和20.8%(AM1.5)的效率。PERC

、SiO2、SnO2、ZnS、MgF2单层或双层减反射膜。在制好绒面的电池表面上蒸镀减反射膜后可以使反射率降至2%左右。(3) 钝化层：钝化工艺可以有效地减弱光生载流子在某些区域的复合。一般高效太阳电池

台湾的太阳能电池制造商。太阳能电池厂商在制造抗反射薄膜以及钝化保护层时会产生一氧化二氮(N2O)，目前台湾政府已计画将此类气体列入应处理的废气项目，以达一氧化二氮(N2O)减量的新标准，而UPTIMUM

台湾的太阳能电池制造商。太阳能电池厂商在制造抗反射薄膜以及钝化保护层时会产生一氧化二氮(N2O)，目前台湾政府已计划将此类气体列入应处理的废气专案，而UPTIMUM便是运用成熟的燃烧/水洗技术来分解

。厚的氧化物钝化层与两层减反射涂层相结合.通过改进了的电镀过程增加栅极的宽度和高度的比率：通过以上制得的电池转化效率超过23%，是大值可达23.3%。Kyocera公司制备的大面积(225cm2)单电

表面微结构处理和分区掺杂工艺。在此方面，德国夫朗霍费费莱堡太阳能系统研究所保持着世界领先水平。该研究所采用光刻照相技术将电池表面织构化，制成倒金字塔结构。并在表面把一13nm。厚的氧化物钝化层与两层减

CELCO电池选择高品质的Cz硅片，进一步降低饱和暗电流提高开路电压。由于载流子寿命提高和背部钝化层对光学性质的影响，CELCO电池的短路电流高达39mA/cm2。正反两面的电极设计均经过优化，以保证电池的
电池，交叉背结电池等等。即使新增的工艺流程改变也是一个挑战：将衬底从p型换成n型，背面钝化，电镀，离子注入等。下面是筛选的2012上半年十大高效光伏电池：　　No.10 韩国现代重工铜基触点光伏电池