钝化层

和公共利益集团将兴趣引入住宅、商业和公共事业规模太阳能解决方案的必要途径。　　目标Amtech表示，其预计2016年第一财季集团总收入为两千两百万美元至两千四百万美元。然而，管理层在其收入电话会议中
下半年加强优势。此外，Amtech被美国能源部SunShot计划授予合作，总计约一百万美元，专注于晶硅太阳能电池技术的进步，尤其是在掺杂和表面钝化技术的关键专业领域。

集团将兴趣引入住宅、商业和公共事业规模太阳能解决方案的必要途径。目标Amtech表示，其预计2016年第一财季集团总收入为两千两百万美元至两千四百万美元。然而，管理层在其收入电话会议中强调，其认为太阳能
，Amtech被美国能源部SunShot计划授予合作，总计约一百万美元，专注于晶硅太阳能电池技术的进步，尤其是在掺杂和表面钝化技术的关键专业领域。 原标题:Amtech第四财季太阳能销售额下滑

影响黑硅表面的光学特性，然后在黑硅发射极表面原子层沉积Al2O3，起到优异的表面钝化效果。　　1.引言黑硅表面有纳米级小山峰，反射率很低。通过优化反应离子刻蚀（RIE）工艺的参数来制作黑硅，由于其在很宽
速率增大，进而造成短波段的光谱响应变差。黑硅已经被广泛应用到P型电池上，通过热氧化和沉积SiNx作为正面钝化层。但是低反射率的增益无法弥补高表面复合速率的影响，电池效率较低，效率最高可达到18.2

首批大城市，有其独特的优势。现在中国市场在迅猛成长，占全球市场的三分之一，我们敏锐地嗅到了这一市场变革。晶澳管理层判断以后新能源占电力消费结构的比重将越来越突出，中国市场占世界市场的份额也将越来越大
)电池采用PERC（背钝化局部接触）技术，电池平均转换效率20.7%，组件功率集中在285W以上，100%达到领跑者要求。 　　 　　千里之行始于足下，厚积而薄发，不计成本的科研投入，换来的是晶澳

峰高度为300nm，电池效率为15.99%，短路电流密度为34mA/cm2。关键词：黑硅、绒面结构、太阳能电池、接触电阻、转换效率1 引言众所周知，由于大气和硅片接触面折射率的突然变化，去除机械损伤层后的
硅片表面反射率高达40%。降低硅片表面反射率增加光吸收是提高多晶硅太阳能电池转换效率的一个重要方向。在硅片表面沉积具有过渡折射率的减反射层（如SiNx）是一种可以有效减反射的方法，但表面制绒是一种更稳

，英利新型双玻组件能给客户带来20%以上的额外收益。 新型双玻组件采用两层0.85毫米化学钢化玻璃，60片电池组件（1658*995）总重量仅为9.5公斤，总厚度不到3毫米，不仅大大降低了组件的包装成本和
施加在组件上而使其性能降低。这种效应表现在玻璃、封装材料之间存在漏电流，大量电荷聚集在电池片表面，导致电池片的钝化，致使电池片的开路电压、短路电流和填充因子降低，EL拍摄图像显示黑斑等不良现象。PID

晶硅太阳能电池的表面钝化一直是设计和优化的重中之重。从早期的仅有背电场钝化，到正面氮化硅钝化，再到背面引入诸如氧化硅、氧化铝、氮化硅等介质层的钝化局部开孔接触的PERC/PERL设计。虽然这一结构

了一步。但是，他们一直未能解决好黑硅表面钝化难题，使得湿法黑硅技术一直停留在实验室阶段。湿法黑硅技术基本原理如图2所示，采用 Au、Ag等贵金属粒子随机附着在硅片表面，反应中金属粒子作为阴极、硅作为阳极
损伤层。比常规多晶电池制程，增加了至少两道工序。 3 、阿特斯湿法黑硅电池技术进展 阿特斯早在2009年开始黑硅技术调研，并选用湿法黑硅技术作为黑硅技术的首选，一直致力于产业化湿法黑硅技术的开发

解决好黑硅表面钝化难题，使得湿法黑硅技术一直停留在实验室阶段。湿法黑硅技术基本原理如图2所示，采用Au、Ag等贵金属粒子随机附着在硅片表面，反应中金属粒子作为阴极、硅作为阳极，同时在硅表面构成微电化学
，与现有的常规电池工艺能很好的兼容。而RIE黑硅是在常规酸腐蚀后，再进行RIE形成纳米绒面，最后通过化学腐蚀去除硅片表面的残留物和离子轰击带来的损伤层。比常规多晶电池制程，增加了至少两道工序。3

初步的研究；直到2009年，美国国家可再生能源实验室（NREL）的Branz博士提出了全液相黑硅制备方法，将湿法黑硅技术朝产业化方向又推进了一步。但是，他们一直未能解决好黑硅表面钝化难题，使得湿法
RIE黑硅是在常规酸腐蚀后，再进行RIE形成纳米绒面，最后通过化学腐蚀去除硅片表面的残留物和离子轰击带来的损伤层。比常规多晶电池制程，增加了至少两道工序。3 、阿特斯湿法黑硅电池技术进展 阿特斯早在