钙钛矿蒸镀设备
薄膜电池与叠层电池量产装备报 告 简 介捷佳伟创提供多种钙钛矿研发、中试与量产整线装备，如低轰击与低温制备SnO2的RPD、溅射ITO, Cu, NiO与共蒸镀模块结为一条龙的团簇式真空镀膜装备，让
的形成和生长。退火温度和时间根据具体材料体系进行优化。空穴传输层沉积在钙钛矿活性层上沉积一层空穴传输材料(HTM)，如spiro-OmetaD或其他有机小分子或聚合物。这一层可以通过溶液法或真空蒸镀法
近日，由晟成光伏自主研发，用于钙钛矿太阳能电池生产的关键设备——大幅宽线性蒸镀设备斩获某新能源龙头企业订单，成功并入其研发中试线正式生产，帮助客户完成了钙钛矿电池产业化工艺路线的关键拼图。随着大幅
膜叠加，把效率进一步推升。第三，创新整合型量产设备-MAR，PAR。不管是蒸镀、PVD还是RPD，设备架构都一样，只有工艺腔体是不同的，所以未来在叠层电池的发展上，只要工艺有需求，我们就可以把两个不同
的制备工艺和设备解决方案，这也是鹑火光电公司正在致力于的发展方向。在高质量钙钛矿薄膜及电池制备技术方面，鹑火光电采用超低气流气淬成膜技术和双重后期处理策略，使得器件良品率从50%提高至90%，实现超过
20%效率的大面积电池制备。目前，公司单节0.09CM2小面积电池最高效率25.71%，并正在采用钙钛矿与异质结技术，实现钙钛矿晶硅叠层产业和设备的全自主研发。以下为嘉宾发言实录：感谢索比光伏的邀请
金辰公告，公司宣布设立一家合资公司恒一光电，定位于钙钛矿电池镀膜设备真空蒸镀机的研发与制造，金辰出资占比70%，辰工真空出资30%。根据公开资料，金辰股份此前主要布局光伏设备、HJT设备，在钙钛矿领域
光电子学等领域的研究提供了一个强大的装备支撑。五合一团簇式钙钛矿叠层真空镀膜装备具备以下特点：多技术合一该款设备将RPD、多源蒸镀、RF溅射、脉冲直流溅射和直流溅射等多种技术相结合，实现了真空环境中的薄膜
镀膜主流方式。相比于蒸镀、电子枪，磁控溅射(PVD) 具备成膜面积大、膜质均匀、成膜效率高等优势，并且可以通过调整靶材与电池的距 离以及磁场分布，尽量降低离子轰击对钙钛矿材料的伤害。同时优化腔体
适配，效率极限再获突破，站在布局未来角度，钙钛矿/异质结电池叠层也是晋能科技“研发一代”的新重点。晋能科技研发团队联合高研院校等多所高校，已利用真空蒸镀的方法实现400cm²的钙钛矿薄膜制备。同步在
亿元。2017-2022年中国真空镀膜设备市场规模预测趋势图钙钛矿层薄膜制备方法钙钛矿层薄膜制备方法概览涂布与蒸镀技术对比钙钛矿整线其他层设备选择以最常用的反式电池结构(TCO-HTL-钙钛矿活性层
