还原炉

塔、混合气压缩机等，火灾爆炸、中毒、腐蚀、触电、机械伤害。 ５）氯硅烷分离：精馏塔、再沸器、冷凝气等，火灾爆炸、中毒、腐蚀、触电、机械伤害。 ６）三氯氢硅还原：三氯氢硅汽化器、还原炉、还原炉

多晶硅按纯度分类可以分为冶金级(工业硅)、太阳能级、电子级。 1冶金级硅(MG)：是硅的氧化物在电弧炉中被碳还原而成。一般含Si为90-95%以上，高达99.8%以上。 2太阳级硅(SG
SiHCI3 ，再让SiHCl3在H2气氛的还原炉中还原沉积得到多晶硅。还原炉排出的尾气H2、SiHCl3、SiCl4、SiH2Cl2 和HCl经过分离后再循环利用。硅烷法是将硅烷通入以多晶硅晶种作为流化

，2009年起上海市就重点支持发展光伏装备、薄膜和高效低成本光伏电池，适度建设一定规模产能。在光伏装备方面，涌现了一批高效率晶硅还原炉等晶硅电池核心生产装备龙头企业;在薄膜电池及其生产装备方面，形成

上海市就重点支持发展光伏装备、薄膜和高效低成本光伏电池，适度建设一定规模产能。在光伏装备方面，涌现了一批高效率晶硅还原炉等晶硅电池核心生产装备龙头企业；在薄膜电池及其生产装备方面，形成了多种技术路线

高效低成本光伏电池，适度建设一定规模产能。 在光伏装备方面，涌现了一批高效率晶硅还原炉等晶硅电池核心生产装备龙头企业；在薄膜电池及其生产装备方面，形成了多种技术路线研发领先的团队；在光伏电池方面

来看，改良西门子法在还原炉中的一次转化率只有10%，硅烷流化床法能够达到98%。改良西门子法的反应温度高达1100度，硅烷流化床的反应温度为500到600度，后者能耗也更低。硅烷法的反应面积远远大于改良
生成过程中由于剧烈反应而不停地撞到流化床反应炉的内壁，如果内壁材料选用得不好，会让颗粒硅沾上杂质而纯度不高。国外现在通过硅烷流化床法做出的颗粒硅纯度不高就是由这个原因造成的。另一难点在于，这个气固反应的

11日，第二条1250吨/年多晶硅项目CVD还原炉5号炉成功产出首批产品。目前，国内第一条电子级2500吨/年多晶硅产能已在青海形成，并成功生产出电子级产品，成为全国已投产多晶硅企业中唯一一家能够生产

，保利协鑫开始启动硅烷流化床项目，这是一种成本更低的技术路线。 从硅的转化率来看，改良西门子法在还原炉中的一次转化率只有10%，硅烷流化床法能够达到98%。改良西门子法的反应温度高达1100度，硅烷
固体越来越多。就像炒豆子、豆子越来越大的过程。蒋立民如此形容。 其难点之一在于，颗粒硅会在生成过程中由于剧烈反应而不停地撞到流化床反应炉的内壁，如果内壁材料选用得不好，会让颗粒硅沾上杂质而纯度