薄膜硅设备
，中国电子科技集团公司第四十八研究所正在进行一项SHJ电池的研制。SHJ电池中，无论是正表面还是背表面都采用了非晶硅薄膜，非晶硅薄膜目前大部分仍采用PECVD设备进行沉积，因此，平板PECVD是SHJ电池制备工艺中的核心装备，目前我们正在开展该设备的研制工作。
薄膜电池产业发展的关键。未来薄膜电池要突破晶硅垄断的光伏市场，需要以突破核心设备入手实现核心技术本土化、并达到成熟;解决柔性薄膜电池封装材料这一成本瓶颈;向国家要扶植政策，对于CIGS 和CdTe
，中国电子科技集团公司第四十八研究所正在进行一项SHJ电池的研制。SHJ电池中，无论是正表面还是背表面都采用了非晶硅薄膜，非晶硅薄膜目前大部分仍采用PECVD设备进行沉积，因此，平板PECVD是SHJ电池制备工艺中的核心装备，目前我们正在开展该设备的研制工作。
按照光伏电池片的材质，太阳能电池大致可以分为两类，一类是晶体硅太阳能电池，包括单晶硅太阳能电池、多晶硅太阳能电池;另一类是薄膜太阳能电池，主要包括非晶硅太阳能电池、碲化镉太阳能电池以及铜铟镓硒
生产过程中，PERC电池钝化膜损伤及各种EL缺陷等造成成品率下降颇为严重。本文通过对PERC电池片生产工艺、设备、生产管理上探究一定优化解决方案。
1PERC电池片与常规电池片
常规电池采用常规
背场电池(BSF)结构，具有先天局限性，随电池效率提高，局限性越发明显。应用于BSF电池背场金属铝薄膜不能降低背面复合速度，如降至200cm/s以下。达到金属铝背层红外辐射光仅60%-70%能反射
按照光伏电池片的材质，太阳能电池大致可以分为两类，一类是晶体硅太阳能电池，包括单晶硅太阳能电池、多晶硅太阳能电池;另一类是薄膜太阳能电池，主要包括非晶硅太阳能电池、碲化镉太阳能电池以及铜铟镓硒
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工艺：核心工艺与PERC完全不同
异质结电池四步核心工艺为清洗制绒、非晶硅薄膜沉积、导电膜沉积、印刷电极与烧结。与PERC工艺的区别在于：1)非晶硅薄膜沉积环节，使用PECVD或RPD沉积本征
氢化非晶硅层和P型/N型氢化非晶硅层;2)镀膜环节使用PVD沉积TCO导电膜;3)印刷电极方面需使用低温银浆;4)烧结过程需控制低温烧结。
成本：设备与耗材未来降本空间大
目前异质结电池
机、其他相关设备 电池板/组件生产设备： 全套生产线、测试设备、玻璃清洗设备、结线/焊接设备、层压设备等 薄膜电池板生产设备： 非晶硅电池、铜铟镓二硒电池CIS/CIGS、镉碲薄膜电池CdTe、染料敏化
多晶硅片生产多晶硅价格降至55-57元人民币(7.8-8.8美元)/公斤。Lin表示，单晶硅的多晶硅价格将保持平稳，新的中国产能供应市场，而非中国多晶硅制造商退出，导致供需平衡。 Lin还预计，中国本地化生产设备
、多晶还是薄膜、垂直还是专业，争论始终没有答案。
不确定的主流技术，也促成了中国光伏在过去10年的快速进步围绕着降低光伏转换率和光伏成本两个核心内容，技术创新层出不穷，大家都希望快一点看到主流，就像燃油
还是专业化就成为一个问题。
最初，专业化更占上风洛阳中硅和新光硅业主攻硅原料，浙江昱辉、赛维LDK生产硅棒和硅片，无锡尚德和中电光伏则在电池片重点发力。因为布局不同、规划各异，模式很明晰。更为关键的是
