背面钝化
TOPCon电池的工艺原理是基于选择性载流子原理的隧穿氧化层钝化接触(Tunnel Oxide Passivated
Contact)太阳能电池技术，其电池结构为N型硅衬底电池，在电池背面制备一层超薄氧化
硅，然后再沉积一层掺杂硅薄层，二者共同形成了钝化接触结构，有效降低表面复合和金属接触复合，为N-PERT电池转换效率进一步提升提供了更大的空间。TOPCon电池工艺难吗？TOPCon电池的制造工艺相对
TOPCon太阳能电池的制造工艺流程有哪些?TOPCon工艺流程共计有9步：制造背场、清洁晶圆、生长n-a-Si层、制造P型衬底、生长P型层、制造M面、制造topcon电池的背面、钝化、分离。1
水氧化物(H2O)或氢氧化物(OH)等材料，通过施加电压形成一层透明导电膜。8、钝化：使用湿化学法在topcon电池背面形成一层钝态薄膜，以增加电池的循环寿命。9、分离：将topcon电池从衬底上分离
元素的硅片的不同，可分为N型(以掺磷的N型硅片为衬底)和P型(以掺磞硼的P型硅片为衬底)电池片。在制备技术方面，P型电池主要采用传统铝背场电池(AI-BSF)和钝化发射极和背面电池(PERC)技术，N型
第二代主流光伏电池技术，市占率高达65%。PERC电池是发射极及背面钝化电池技术，采用钝化膜来钝化背面，增强光线在硅基的内背反射，降低了背面的复合速率，从而使电池效率提升。目前，PERC电池技术比较
工艺设备研制并形成量产能力，相关设 备是 HJT 电池片生产线的核心工艺设备之一，主要通过磁控溅射技术在非晶硅 钝化异质结电池正背面沉积 TCO 透明金属氧化物导电膜。据了解，金辰股份主要
光伏电池面临四点挑战。第一,对基体材料要求较高,需要较高的少子寿命;第二,IBC电池对前表面的钝化要求较高。若前表面钝化效果不理想,光生载流子在未到达背面PN结区之前,已被复合掉,将会大幅降低电池
(IBC-SHJ)。图表3 IBC光伏电池工艺路线数据来源：中科院宁波材料所HBC工艺即在硅片表面采用本征非晶硅进行钝化,在背面分别采用N型和P型的非晶硅薄膜形成异质结,该结构充分利用了非晶硅优越的表面钝化
发射极叠层表面钝化技术(mt-Pass)，使一道新能N型技术升级到TOPCon3.0 plus。mt-Pass技术极大降低了发射极的复合电流，使钝化效果接近背面SiO2/PolySi的钝化技术的
优化，采用硼扩后激光直掺+氧化的方式，仅增加激光和氧化设备，实验效率提升0.25~0.35%。在SE技术持续优化基础上，正泰新能n型TOPCon系列组件叠加新型正、背面钝化及新型高效接触与新型图形化等
，具有以下优势：英利能源N型TOPCon熊猫3.0组件01、高功率英利能源N型TOPCon技术(即隧穿氧化层钝化接触技术)通过在电池背面制备一层超薄氧化硅、再沉积一层掺杂硅薄层，共同形成钝化接触结构
应用端，N型产品大规模推广还面临一些难题。N型电池的结构和电池表面形貌发生了较大变化，对胶膜、背板等封装材料提出了新的要求。有专家介绍，N型电池PN结与P型相反，氧化铝和氧化硅的场钝化在正面，因此
TOPCon正面PID大于背面;正面主栅直接接触P+发射极，银浆成分不同，酸化敏感;正面采用细栅铝质银浆，铝的电极电位差异导致电池片在水和酸碱下活泼;另外，薄硅片本身对表面应力更敏感。异质结电池表面的TCO
应用端，N型产品大规模推广还面临一些难题。N型电池的结构和电池表面形貌发生了较大变化，对胶膜、背板等封装材料提出了新的要求。有专家介绍，N型电池PN结与P型相反，氧化铝和氧化硅的场钝化在正面，因此
TOPCon正面PID大于背面;正面主栅直接接触P+发射极，银浆成分不同，酸化敏感;正面采用细栅铝质银浆，铝的电极电位差异导致电池片在水和酸碱下活泼;另外，薄硅片本身对表面应力更敏感。异质结电池表面的TCO
