背面钝化

TCA生长氧化层钝化电池正反面2. 正面光刻制成的金字塔(绒面)结构3. 背面硼扩散一般造成高表面复合4. 局部铝扩散制作电池的表面接触

排列整齐的方形沟槽组成，浅发射极n+位于硅片的上表面，在其上有一极薄的氧化隧道层，Al电极倾斜蒸镀于沟槽的侧面，然后利用PECVD蒸镀氮化硅作为钝化层和减反射膜OECO电池有以下特点：(1)电极是蒸
镀在沟槽的侧面，有利于提高短路电流;(2)优异的MIS结构设计，可以获得很高的开路电压和填充因子;(3)高质量的蒸镀电极接触;(4)不受接触特性限制的可以被最优化的浅发射极;(5)高质量的低温表面钝化

技术已经转让给好几家世界上规模较大的太阳能电池生产厂。如英国的BP SOLAR和美国的SOLAREX等。激光刻槽埋栅电池的大致工艺流程为：硅片-清洗制绒-淡磷扩散-热氧化钝化-开槽-槽区浓磷扩散-背面蒸铝-烧背场-化学镀埋栅-背面电极-减反射膜-去边烧结-测试。(作者：和海一样的新能源)

(钝化发射极背场点接触)电池，用背面点接触来代替 PESC电池的整个背面铝合金接触，这种电池达到了大约700mV的开路电压和22.3%的效率。PERL(钝化发射极背部局域扩散)(Passivated

可采用热氧钝化、原子氢钝化，或利用磷、硼、铝表面扩散进行钝化。热氧钝化是在电池的正面和背面形成氧化硅膜，可以有效地阻止载流子在表面处的复合。原子氢钝化是因为硅的表面有大量的悬挂键，这些悬挂键是载流子的

。仅靠工艺水平的改进对电池效率的提升空间已经越来越有限，电池效率的进一步提升将依赖新结构、新工艺的建立。具有产业化前景的新结构电池包括选择性发射极电池、异质结电池、背面主栅电池及N型电池等。这些电池
结构采用不同的技术途径解决了电池的栅线细化、选择性扩散、表面钝化等问题，可以将电池产业化效率提升2～3个百分点。为了进一步降低成本、提高效率，各国光伏研究机构和生产商不断改善现有技术，开发新技术。他们

化学气相沉积（PECVD）垂直镀膜设备VCS 1200，该设备能对晶体硅太阳能电池进行正面与背面的双面镀膜。在等离子体增强化学气相沉积过程中对电池进行钝化对于硅基太阳能电池至关重要。垂直镀膜设备VCS
晶体硅太阳能电池的所有核心技术。对于既有生产线，整合垂直系统VCS 1200从而对背面进行钝化，可使厂商重新获得盈利能力。Manz AG首席执行官Dieter Manz表示：整个光伏产业现在正经历着艰难

原材料)的改进。仅靠工艺水平的改进对电池效率的提升空间已经越来越有限，电池效率的进一步提升将依赖新结构、新工艺的建立。具有产业化前景的新结构电池包括选择性发射极电池、异质结电池、背面主栅电池及N型电池
等。这些电池结构采用不同的技术途径解决了电池的栅线细化、选择性扩散、表面钝化等问题，可以将电池产业化效率提升2～3个百分点。为了进一步降低成本、提高效率，各国光伏研究机构和生产商不断改善现有技术，开发

TetraCell时是非常重要的优点。2010年TetraSun获得了能源部授予的230万美元资助，支持背面钝化技术的研发。Schultz-Wittmann继续说：这始终是一项变革性的技术，以最低的成本
(NREL)认证。TetraSun电池概念的基础是被该公司称为创新表面钝化技术。使用了40um宽的铜电极而非宽幅印刷银金属。生产流程无需使用特殊设备，电池Voc值超过700mV的成果是在单晶CCz培养硅上实现