背钝化
太阳能光伏发电是新能源的重要组成部分，近年来在国内外受到了高度重视并迅速发展。光伏发电的核心技术晶体硅电池技术也在取得持续进步。钝化发射极及背局域接触电池（PERC）最早是由新南威尔士大学研发的
，由于对电池进行了双面钝化，背面电极采用局域接触的形式，有效地降低了表面复合，减少了电池的翘曲断裂。另外，对电池背面进行了抛光处理，提高了对长波的吸收。PERC电池制作流程如图1所示。目前，国内晶体硅电池
PERL电池结构示意图 图7 PassDop激光掺杂示意图（a）基体硅背面（b）沉积磷掺杂的a-SiCx钝化层（c）激光开槽形成局部重掺（d）沉积Al背电极日本三菱电机的n-PERL电池则采用双面受光
电池是发射结钝化全背场扩散电池（PassivatedEmitterRearTotally-diffused），其结构特点是背表面扩散全覆盖以降低电池的背面接触电阻和复合速率。背面全背场扩散可以通过不同
的主流光伏制造商加大了对高效电池的研发与投入，并各自取得不同程度的突破。高效电池研发，将以组件量产定胜负随着背接触（BC）、异质结（HIT）、双面（BC）等电池新结构的开发及激光、离子注入、双面钝化等
，以获得高性价比产品，提升竞争优势。其中，专注于钝化发射极背面电池(PERC)技术的中美晶，2015年第四季度与伏激光技术设备专家InnoLas Solutions签订合作，采用超快激光接触开缝(LCO
记者今天从晋能集团获悉，由晋能清洁能源科技有限公司研发的单晶背钝化电池中试效率达到了21.36%，高于行业内同类技术平均20.6%-20.9%的效率水平，达到世界领先水平。背钝化技术是目前ink
%。 在PERC背钝化技术电池方面，2016年1月该公司创新研发的单晶PERC背钝化电池中试效率达到21.36%，高于行业内同类技术20.6-20.9%的平均效率，达到世界领先水平。 截至目前，晋能科技
，平均效率呈现大幅度提升，自2015年3月到2016年1月，公司已经完成多晶高效电池的技术工艺升级迭代，多晶高效量产电池平均效率已经从投产初期的18.01%逐月攀升到18.7%。在PERC背钝化技术
电池方面，2016年1月该公司创新研发的单晶PERC背钝化电池中试效率达到21.36%，高于行业内同类技术20.6-20.9%的平均效率，达到世界领先水平。截至目前，晋能科技在山西文水已拥有
刻槽埋栅电池的大致工艺流程为：清洗、腐蚀制绒面清洗淡磷扩散热氧化钝化开槽槽区腐蚀清洗槽区浓磷扩散背面蒸铝烧制背场化学镀埋栅制作背面电极蒸镀减反射膜去边烧结测试2.5、OECO电池 （1）标准OECO
打开背面接触，真空蒸镀Al作为背电极前表面低温热氧化形成氧化隧道层前表面无需掩膜直接倾斜蒸镀Al作为面电极使用导电胶将各个面电极连接起来采用PECVD法在前表面蒸镀氮化硅作为钝化和减反射层（2）背接触
的高质量钝化，以极低的界面电学损失获得超高的开路电压（740 mV）。借鉴HIT结构，新近发展起来的单晶硅/有机物异质结太阳能电池采用在硅基底上旋涂相应的导电有机物，再沉积上、下金属电极的简单途径即可
/PEDOT:PSS异质结是该类电池中的出色代表，其中PEDOT:PSS在经过改性处理后可以形成对硅表面近乎完美的钝化效果，具有获得高开路电压（700 mV）和高转换效率（20%）的潜力。中国科学院宁波材料
流化床法等产业化进程加快;单晶及多晶电池技术持续改进，产业化效率分别达到19.5%和18.3%，钝化发射极背面接触(PERC)、异质结(HIT)、背电极、高倍聚光等技术路线加快发展;光伏组件封装及抗
中电光伏的PERC电池研发项目是依托于2012年的国家863科研课题：效率20%以上基于高效背场和背钝化技术的晶体硅电池产业化成套关键技术及示范生产线，目标是研究开发背面钝化PERC低成本高效电池
