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成为证明多晶硅有污染的重要依据之一。 3 美国的多晶硅政策 美国是多晶硅产量最大的国家,2009年,美、日、德、韩四国多晶硅总产量84500吨,较2008年57400吨增长47.2%。其中美国4家公,三氯氢硅经过精馏提纯后,用高纯氢气还原得到多晶硅产品。还原过程中,产生大量尾气,采用干法回收系统将尾气中的成份一一分离,其中:SiCl4、SiHCl3混合液送精馏提纯,得到高纯SiHCl3送还