。 微电子配套材料-纳米聚晶金刚石硅片磨料项目属国际领先国内国家重点支持的高新技术类项目。产品主要用于生产90纳米以下芯片的硅片研磨。国际上纳米聚晶金刚石生产技术长期由美国杜邦公司垄断,日本住友
公司是亚洲唯一能生产纳米聚晶金刚石的企业,所采用技术系购买杜邦公司的专利,美国和日本产品在国际市场售价每克拉均高达10美元左右。由中科院力学所专家研发成功的纳米聚晶金刚石性能优于美日产品,产品产出率高
%au(jn'qRvl 在第二次世界大战期间美国杜邦公司采用锌(Zn)还原SiCl4制出多晶硅,供美国的电子公司生产高频二极管 ,但用途未扩大 。m# ]t&Dl 1953