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法：样品直接接触等离子体，样品或样品的支撑体就是电极的一部分。间接法：或称离域法。待沉积的样品在等离子区域之外，等离子体不直接打到样品表面，样品或其支撑体也不是电极的一部分。北极星太阳能光伏网编辑按照

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