硅薄膜太阳能电池

目前，我们所说的太阳能电池，多指硅太阳能电池，这是目前使用最广泛且可靠性和稳定性都非常出色的电池。而且转换效率也一直在提高，在大规模应用下，只要把转换效率提高0.1%，都能让光伏拥有更强的竞争力
，同时也更有利推动光伏的发展。 但是，当前的单晶硅或多晶硅太阳能电池，其实还是属于第一代太阳能电池，其转换效率虽然较高，但也存在物理极限和一些其它劣势。 仅就技术层面而言，太阳能技术已经发展到了第三代

近年来，新兴的有机无机杂化钙钛矿太阳能电池发展突飞猛进，在短短十年里其光电转化效率从3.8%迅速发展到目前25.5%的认证效率，被视为最具有应用潜力的新型高效率太阳能电池之一。虽然钙钛矿太阳能电池
具有很高的光电转换效率已与多晶硅薄膜电池相媲美，但是电池的长期稳定性远未达到商业化的要求。此外，传统的低温溶液法可以便利地制备钙钛矿薄膜，但所制备的钙钛矿通常是多晶薄膜极易在晶界或表面产生针孔和缺陷

：INDEOtec 成立于 2007 年，是一家专注于薄膜太阳能电池 PECVD 工艺设备研发、生产和销售的瑞士设备生产商。公司已开发出专用于 HJT 非晶硅薄膜沉积的 OCTOPUS 系列设备
平方米的玻璃基板上沉积高度均匀的低温多晶硅薄膜。后期，应用材料将 AKT 系列设备改进应用于 太阳能电池制造领域，开发出 PECVD 5.7 系统，PECVD 5.7 系统基板面积最大

(Heterojunction with Intrinsic Thin-Layer) 是利用晶体硅基板和非晶硅薄膜制成的混合型太阳能电池，是结合了薄膜太阳能技术的单晶硅电池。PERC(Passivated
大概在50%-70%之间。 HJT电池和PERC电池均属单晶硅太阳能电池，两者的理论转换效率上限均为29%。中国实验室效率最高的单晶硅太阳电池纪录由汉能集团保持25.1%，这也是6英寸HJT太阳电池

、非晶硅薄膜沉积、TCO制备、电极制备四个步骤，主要生产设备有清洗制绒机、PECVD、RPD/PVD以及丝网印刷机。目前，异质结产线设备较高，占据了异质结电池产品成本很大的比重，根据预测，异质结核心设备
仅有的几家掌握高效异质结太阳能电池技术的企业之一。 在今年的SNEC光伏展会上，钧石能源带来了具有自主知识产权的GW级异质结量产设备，该设备为最低运营成本而设计。 钧石能源GW级异质结电池生产线设计

本偏高。 第二代太阳能光伏电池，主要是非晶硅薄膜太阳能电池和晶硅薄膜太阳能电池。其中非晶硅的砷化镓太阳能电池效率目前可达30%左右，但是价格昂贵，综合性价比并不高，因此多用于对性能要求很高的太空飞行

，帮助读者正确把握和判断异质结电池成本降低前景。 本文将分析用于沉积非晶硅薄膜和TCO透明导电层的沉积设备企业2020年最新进展。设备成本决定异质结产线投资额，而沉积设备占据设备成本的主要份额
领先性。 理想万里晖 2019年，理想万里晖击败欧美设备公司，研制的国内首台高效100MW高效异质结太阳能电池用PECVD装备中标中威异质结太阳能项目。 同年，客户使用万里晖PECVD设备制备的

1. HIT 电池性能优异，商业化节奏提速1.1 HIT：一种非晶硅与晶硅材料相结合的高效电池技术 HIT 电池是以晶硅太阳能电池为衬底，以非晶硅薄膜为钝化层的电池结构。HIT(异质结电池
，Heterojunction with Intrinsic Thin layer)是一种在 P 型氢化非晶硅和 n 型氢化非晶硅与 n 型硅衬底之间增加一层非掺杂(本征)氢化非晶硅薄膜的电池结构。标准

实现了小批量生产，但规模量产仍需要一定时间。钧石能源起步较早，作为设备供应商有研发和量产硅基薄膜太阳能电池生产线的经验，于 2010 年开始研发高效单晶 异质结电池，在 2016 年建成 100MW
和掺杂非晶硅薄膜环节，理想万里晖提供的 PECVD 设备在备受好评，迈为股份也不断精进其 PERCVD 设备;在沉积 TCO 薄膜环节， 钧石能源的 PVD 设备已经入大规模生产应用，捷佳伟创在获得