喷涂法(PSM)
采用DC一RF混合等离子系统。以纯度为99.9999%,粒度为50m一150m的p-型晶体硅粉作为原材料,用Ar气作为携带气体,由DC-RF等离子体进行喷涂。原料贮存盒和
携带气体管道涂覆Si-C-N-O化合 物,防止金属杂质污染。
硅粉在高温等离子体中加热熔化。熔化的粒子沉积在衬底上,衬底由加热器加热,沉积前,用红外热偶测试衬底温度,使之保持在1200℃,沉积
、多晶硅3000吨、工业硅30万吨、环保硅粉6万吨、热电联产发电49.3亿KWH(全部自用)、供气720T/H、水电发电10亿KWH(全部自用),年销售收入123.9亿元,年利润将达20.53亿元,年缴