硅片生产工艺

3000－5000吨。国际多晶硅主要技术特征有以下两点：（1）多种生产工艺路线并存，产业化技术封锁、垄断局面不会改变。由于各多晶硅生产工厂所用主辅原料不尽相同，因此生产工艺技术不同；进而对应的多晶硅产品
工艺；无氯工艺技术，Al－Si溶体低温制备太阳能级硅；熔盐电解法等。二、国内多晶硅产业概况我国集成电路的增长，硅片生产和太阳能电池产业的发展，大大带动多晶硅材料的增长。太阳能电池用多晶硅按每生产1MW

方硅片生产工艺为例，要开发单机生产能力在50MW的生产设备，同时要实现机械手自动传送、在线检测等功能，提高整线生产效率，减少人工干预，降低碎片率。 　　第三，提高设备的运行稳定性。据调查，国内设备的
，但并不大，且具备性价比优势，借助硅材料短缺的契机，该设备已形成批量生产，占据国内市场并少量出口。 　　研发大尺寸薄硅片自动化设备 　　光伏电池制造设备的发展目的是为了提高电池的最终产品质量、光电转换

156mm×156mm方硅片生产工艺为例，要开发单机生产能力在50MW的生产设备，同时要实现机械手自动传送、在线检测等功能，提高整线生产效率，减少人工干预，降低碎片率。 　　第三，提高设备的运行稳定性。据调查
际先进水平有差距，但并不大，且具备性价比优势，借助硅材料短缺的契机，该设备已形成批量生产，占据国内市场并少量出口。 　　研发大尺寸薄硅片自动化设备 　　光伏电池制造设备的发展目的是为了提高电池的最终

/张永安 硅片自动化清洗技术与装备 10:40-11:00 深圳珈玮实业有限公司 丁孔贤 董事长 光伏组件的质量控制 11:00-11:20 南开大学光电子研究所 耿新华
研究员 太阳电池自动化生产工艺中的检测、分选与控制 讨论题：1、中国光伏电池产品与国际的差距 2、中国光伏产业持续发展面临的问题及对策 C 厅 薄膜电池 主持

生产工艺所必需但不能物化在成品中的多晶硅耗用量占多晶硅投入量的百分比。 　　单晶硅棒加工单晶硅片损耗率（％）：单晶硅片在正常加工过程中，因生产工艺所必需但不能物化在成品中的单晶硅棒耗用量占单晶硅棒投入

满足光伏工业发展的需要。同时硅材料正是构成晶体硅太阳电池组件成本中很难降低的部分，因此为了适应太阳电池高效率、低成本、大规模生产化发展的要求，最有效的办法是不采用由硅原料、硅锭、硅片到太阳电池的工艺
，而且生产工艺先进，使得该光伏组件具有完美的外型，能在建筑物上使用，既拓宽了应用面，又可取代某些建筑材料而使电池成本进一步降低。BP Solar公司计划在Fairfield生产CdTe薄膜太阳电池。而

1985年问世，1986年V型槽技术又被应用到该电池上，效率突破20％。V型槽对电他的贡献是：减少电池表面反射；垂直光线在V型槽表面折射后以41”角进入硅片，使光生载流子更接近发射结，提高了收集效率，对低
采用吸杂、钝化、背场等技术。 近年来吸杂工艺再度受到重视，包括三氯氧磷吸杂及铝吸杂工艺。吸杂工艺也在微电子器件工艺中得到应用，可见其对纯度达到一定水平的单晶硅硅片也有作用，但其所用的条件未必

2005.1. Semi晶圆制造分会指出2005年全球晶圆出货63.85in2，比上年仅增长2%。尽管电子级硅（EG）的消耗每隔几年就会有波动，甚至硅片消耗量出现下降，但总体是稳步上升的，照此估计
发表最终报告，综合上述工艺并加以改进，诞生了新硅烷法多晶硅生产工艺技术。 改良西门子法制备多晶硅 l 在西门子法工艺基础上，增加还原尾气干法回收系统、SiCl4氢化工艺，实现了闭路循环，形成

，产品广泛应用于航空、航天及电子制造业。我国卫星太阳能硅片的90%都出自该公司。目前，公司硅单晶生产能力已达100吨，居国内同行业第三位，产品生产工艺技术国内领先，产品填补国家空白。

了世界的目光。　　硅——太阳能之米　　巧妇难为无米之炊，而太阳能产业的“米”，就是硅。从多晶硅到单晶硅、硅片、太阳能电池、电池组件到太阳能电站，构成了太阳能光伏产业的完整产业链。全国劳动模范
、全国人大代表、宁晋县晶龙集团董事长靳保芳对记者说，目前全球太阳能光伏发电产业形成了喇叭口结构，越接近终端市场，需求越大，反之，口越小。“打个比方说，有十个需要硅片的，只有一个供应硅片的。”　　1996年