硅片清洗

，根据市场需求适时推出N型料以及可生产电子级高纯晶硅。而在异质结技术方面，该公司试线规模已达400MW。 异质结电池以N型单晶硅片为衬底，该种硅片对晶硅材料的纯度要求更高，硅料价格因此相对较贵
，捷佳伟创目前已基本完成异质结电池清洗制绒、RPD镀膜、丝网印刷等设备研发，并进入工艺验证阶段，持续推进设备国产化。 目前，多数上市公司已经抢先布局电池环节。除通威股份外，东方日升的异质结电池产能即将落地

。 异质结电池结构和生产工序。异质结电池以N型硅片做衬底，先清洗干净制作金字塔绒面，然后再两侧分别沉积本征非晶硅薄膜，起到钝化硅片两侧悬挂键的作用，然后再接着沉积掺杂非晶硅，制成PN结，PN结就是

，防止合金点产生。 2.表面黑点或白雾。这是扩散工艺中经常出现的表面问题。一般在显微镜下观察是密布的小黑点，在聚光灯下看是或浓或淡的白雾。产生的原因主要有： （1）硅片表面清洗不良，有残留的酸性水汽
一、硅片表面不良 1.表面合金点。形成表面合金点的主要原因是表面浓度过高。 （1）预淀积时携带源的气体流量过大。如CVD预淀积时源的浓度过高，液态源预淀积时通源的气体流量过大或在通气时发生

光伏电池随后在1997年实现量产，即光伏异质结(HIT/HJT)电池。 HJT异质结电池的基本结构：HJT异质结电池以N型单晶硅片为衬底，在经过清洗制绒的N型硅片正面依次沉积厚度为5-10nm的本征

清洗综合设备采用最新全自动配液、高精度补液术以及硅片表面预脱水技术，结合实篮监测系统和分组制绒技术，表明其在制绒设备上已处于领先水平。目前公司研制的超高产能HJT单晶制绒清洗设备已经处于检验阶段(通威

可以做到与170-180um的P型硅片相同的价格，未来N型成本下降空间较大。 问题四：设备有哪些革新，空间多大?HJT设备包括制绒清洗设备(捷佳、YAC)CVD(爱发科、理想、钧石、迈为、捷佳)PVD
本仍是长远之路;③硅片成本：目前N型价格比P型价格高5-8%，N型薄片化是未来大趋势：硅片厚度每降低20微米，单片含硅成本下降约0.25元、产能提升约7%。一片厚度为130-140微米的高质量N型硅片

报告摘要 HJT作为未来高效光伏产品，有望引领技术变革，是面向国际光伏中高端市场企业;国内涉及能源转型、欲弯道超车企业比较好的选择。HJT电池结构是将硅片放在两侧沉积的本征相对掺杂的非晶硅层之间
、TCO膜沉积是HJT生产核心步骤，PECVD和PVD国产化、规模化将推动降本。HJT电池生产设备与常规电池的兼容性较差，新建项目需要重新投入生产线。制造工艺流程主要包括：清洗制绒、非晶硅薄膜沉积

24%附近的转换效率或仅是起点，以HJT为基础的电池转换效率上限还远未达到。 二、异质结性价比逐步显现 HJT异质结电池除上述最关键的优势以外，同时具备N型衬底硅片可减薄、基本无光致衰减，以及温度
电池工艺技术中制绒清洗设备研发、RPD设备研发、丝网印刷线研发已基本完成，完成工艺验证可以实现量产，而难度最大的PECVD样机预计也将于2020年一季度交于客户验证，届时公司将完全具备HIT整线量产

企业。 隆基股份:单晶硅片龙头企业,全产业链布局引领未来 隆基股份 601012 公司在单晶硅片领域为全球第一,营业收入稳步增长公司业务涵盖单晶硅片、电池片、组件生产等光伏全产业链,其中单晶硅片

a-Si：H膜(膜厚5-l0nm)和背面侧的i-n型a-Si：H膜(膜厚5-l0nm)夹住晶体硅片，在两侧的顶层形成透明的电极和集电极，构成具有对称结构的HIT太阳能电池。 图表1：HIT太阳能电池结构
示意图 资料来源：OFweek行业研究中心 2、HIT电池工艺流程 HIT电池的一大优势在于工艺步骤相对简单，总共分为四个步骤：制绒清洗、非晶硅薄膜沉积、TCO制备、电极制备。 图表2