硅片检测系统

薄膜太阳能电池组件的生产线。该玻璃基板面积为2.2米×2.6米，是目前太阳能电池生产中所使用的最大基板的4倍。 而去年年底，应用材料公司宣布收购晶体硅光伏电池制造自动金属镀膜和检测系统厂商Baccini
重组。目前公司业务主要分为硅片半导体，平板显示，能源环境以及技术服务四大部分。“随着全球对能源独立性及环境的关注，越来越多的公司都聚集到了这个市场。我们也非常看好该市场的发展”，Splinter表示

电、燃气热水器。建设部规划到2010年全国家庭住宅太阳能热水器普及率要达到2030%。 国家科技部确定我市为全国5个国家半导体照明工程产业化基地之一。绿色照明、推广高效节能照明系统已列入十一五
）研究中心、检测认证中心和应用研究中心，掌握一批具有自主知识产权的核心技术，达到LED光转化效率100lm/W的产业化技术目标。落实省政府提出全省以厦门市为核心，辐射福州、漳州、泉州、龙岩，拓展到莆田、宁德

，通过对硅块表面的研磨和检测，我们会进一步提高硅片质量，控制后期不合格硅片的产生。在未来，我们将实现对所有多晶硅块硬点和寿命的测试，从而提高硅片的合格率，提高电池效率，进而增强英利太阳能产品的可靠性

：★太阳能光伏生产设备：1．硅棒硅块硅锭生产设备：全套生产线，铸锭炉，坩埚，生长炉，其他相关设备；2．硅片晶圆生产设备： 全套生产线，切割设备，清洗设备，检测设备，其他相关设备；3．电池生产设备： 全套
安装商；★ 光伏相关零部件：蓄电池，充电器，控制器，转换器，记录仪，逆变器，监视器，支架系统，追踪系统，太阳电缆等；★ 光伏原材料：硅料，硅锭/硅块，硅片，封装玻璃，封装薄膜，其他原料；★ 光伏产品：灯类产品

日 14：00-17:00展出内容：光伏生产设备：硅棒硅块硅锭生产设备：全套生产线，铸锭炉，坩埚，生长炉，其他相关设备硅片晶圆生产设备： 全套生产线，切割设备，清洗设备，检测设备，其他相关
，太阳电缆等光伏原材料： 硅料，硅锭/硅块，硅片，封装玻璃，封装薄膜，其他原料光伏产品： 灯类产品，供电系统，移动充电器，水泵，太阳能家居用品及其他太阳能产品

：REC。 这些公司分布在晶体硅太阳能电池产业链的各个环节，即晶硅制备(单晶硅、多晶硅、非多晶硅薄膜)、硅片生产、电池制造、组件封装四个环节。产业链最上游是太阳能晶硅制备，这个环节技术门槛高
(尤其是多晶硅)，具有一定垄断性，以Hemlock、Tokuyama、REC等公司为代表，它们掌握晶硅制备技术，占据全球太阳能多晶硅总产量的95%以上。第二个环节是硅片(Wafer)生产。这一环节的主要

检测及计量。目前在全球13个国家和地区拥有90多个芯片生产、销售和服务机构。 表1 Applied Materials公司部分专利名称公开号申请日期公开日期申请人改进薄膜太阳能电池互联的系统和方法
：Motech；挪威1个：REC。 这些公司分布在晶体硅太阳能电池产业链的各个环节，即晶硅制备(单晶硅、多晶硅、非多晶硅薄膜)、硅片生产、电池制造、组件封装四个环节。产业链最上游是太阳能晶硅制备，这个

了前所未有的发展机遇。从2004年开始，全球光伏行业进入了一个前所未有的跳跃式发展年，整个光伏行业从源头产品的硅片，到太阳能电池片，到终端产品组件都出现了供不应求的局面。国际市场对太阳能电池的需求猛增
本具备太阳能电池设备整线供给能力。经多次技术换代及升级，国产的太阳能电池及组件生产线关键生产设备如硅片清洗机、8英寸扩散炉、等离子刻蚀机、PSG祛除机、低温烘干炉、高温烧结炉等相继在国内大生产线上替代了

技术经济指标、产品质量指标、用途、产品检测方法、过程安全等方面也存在差异，各有技术特点和技术秘密，总的来说，目前国际上多晶硅生产主要的传统工艺有：改良西门子法、硅烷法和流化床法。其中改良西门子工艺生产的
工艺；无氯工艺技术，Al－Si溶体低温制备太阳能级硅；熔盐电解法等。二、国内多晶硅产业概况我国集成电路的增长，硅片生产和太阳能电池产业的发展，大大带动多晶硅材料的增长。太阳能电池用多晶硅按每生产1MW

，千吨级技术出现曙光；硅片加工规模已达世界级；电池及组件行业有世界一流企业领军；太阳能灯具规模世界第一；并网发电系统国际知名。 　　提高效率降低成本是当务之急 　　太阳能电池制造设备的发展目的是为了
提高电池的最终产品质量、光电转换效率、整线生产效率，降低生产成本。因此，未来设备的技术发展将始终围绕着以下几方面进行：提高单机自动化水平，增加批次装片量，提高单机生产效率；设备间机械手自动转送，在线检测