硅片制绒

珠三角地区，主要涉及光刻机、清洗系统、探针台、划片机、粘片机、焊线机等产品；太阳能光伏(含太阳能硅片及电池片)设备产品的客户主要分布在长三角地区，涉及多线切割机、印刷机、清洗制绒系统、甩干机、划片机等

)主要分布在珠三角地区，主要涉及光刻机、清洗系统、探针台、划片机、粘片机、焊线机等产品；太阳能光伏(含太阳能硅片及电池片)设备产品的客户主要分布在长三角地区，涉及多线切割机、印刷机、清洗制绒系统、甩干

，全自动制绒清洗设备、全自动PSG祛除设备，国内已经能够制造，并接近国际水平，初步具备参与国际竞争的条件；8英寸扩散炉的制造已和国际中等水平相当，性价比优势十分明显，并在实际中大量应用到国内的太阳能电池
长久而密切的合作关系。北京七星华创电子股份有限公司(简称“七星电子”)是国内太阳能电池设备的主要供应商，在太阳能电池设备领域取得了不俗的成绩。公司主要产品太阳能电池片湿法腐蚀和清洗设备(包括自动制绒面

和多晶铸锭炉正逐步推向市场。 　　西安理工大学附属工厂、北京京运通公司、北京京仪世纪公司：专业从事单晶炉生产，产品性价比高。 　　深圳捷佳创公司：专业生产清洗/制绒设备。 　　北京七星华创电子
、管式PECVD、烘干/烧结炉、清洗腐蚀制绒设备以及周边PN结刻蚀设备等代表了当今世界的最高水平。 　　德国Roth&RaU公司、OTB公司、日本导津公司：平板PECVD设备国际领先。 　　意大利

电池制造，它包括清洗、制绒、扩散、刻蚀、减反射膜制备、电极印刷、低温烘干、高温烧结、自动测试分捡等。 　　经过数年的艰苦努力，我国光伏设备企业已基本具备太阳能电池制造整线装备能力，部分产品如扩散炉、等离子
刻蚀机等开始少量出口，可提供10种太阳能电池大生产线设备中的8种，其中有6种(扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线占据主导地位，2种(管式PECVD、快速烧结炉

对硅片表面SEM实验发现,用第三种方法制作的绒面,其金字塔结构分布比较均匀,表面覆 盖效果良好。 。本文
面积之比,图1所示为不 同绒面制作时间与表面积的关系。从该图可见,随着腐蚀时间的加长,面积比逐渐增加,绒面制 作时间达到35min

自动制绒面设备、硅片自动清洗设备、自动PSG祛除设备，石英附件清洗设备)、扩散设备、化学气相淀积设备以及高温烧结炉在国产设备市场上具有很强的竞争力，已经装配到国内多条生产线上。针对太阳能电池片设计的清洗

满足光伏工业发展的需要。同时硅材料正是构成晶体硅太阳电池组件成本中很难降低的部分，因此为了适应太阳电池高效率、低成本、大规模生产化发展的要求，最有效的办法是不采用由硅原料、硅锭、硅片到太阳电池的工艺
最高效率为7．8％。 长春应化所王给祥等人，改进了蒸发工艺，对Cu2S层进行HCI腐蚀，使表面形成绒面织构，所获得的Cu2S/CdS太阳电池最佳有效面积转换效率为8．9％。 1.5

）表面织构化电池——也称绒面电池，最早（1974）也是为通讯卫星开发的。其AM0时电池效率η≥15％，AMI时η＞18％。这种技术后来被高效电他和工业化电池普遍采用。 （4）异质结太阳电池——即不同
，人们探索各种各样的电池结构和技术来改进电池性能，如背表面场，浅结，绒面，氧化膜钝化，Ti／Pd金属化电极和减反射膜等。后来的高效电池是在这些早期实验和理论基础上的发展起来的。1．2．1单晶硅高效电池