硅烷

企业才能屹立不倒，我们推荐积极引入硅烷流化床法技术的多晶企业保利协新能源（3800.HK），以及走高效单晶路线、专注于CFZ 技术的单晶企业中环股份（002129.SZ）。产业链中游两头承压，且受

不倒，我们推荐积极引入硅烷流化床法技术的多晶企业保利协新能源(3800.HK)，以及走高效单晶路线、专注于CFZ 技术的单晶企业中环股份(002129.SZ)。产业链中游两头承压，且受欧美双反贸易争端

企业才能屹立不倒，我们推荐积极引入硅烷流化床法技术的多晶企业保利协新能源(3800.HK)，以及走高效单晶路线、专注于CFZ 技术的单晶企业中环股份(002129.SZ)。产业链中游两头承压，且受

、低成本优势的企业才能屹立不倒，我们推荐积极引入硅烷流化床法技术的多晶企业保利协新能源（3800.HK），以及走高效单晶路线、专注于CFZ 技术的单晶企业中环股份（002129.SZ）。产业链中游两头

进行了大量试验，通过修订原有的硅片产品技术标准，增加类单晶硅片新品种，促成标准出台，并通过了会议审批，进入全球投票阶段。 保利协鑫旗下江苏中能多晶硅技术标准团队在硅烷流化床颗粒硅项目量产之前，就在

氨气离化，再轰击硅烷气，产生SiNx分子沉积在样品表面。这种设备目前的主要制造商为德国的Roth&Rau公司。（2）直流法：使用直流源激发等离子体，进一步离化氨气和硅烷气。样品也不与等离子体接触。这种
优点是不使用易爆的硅烷气，安全性提高很多，另外沉积速率很高。如果按照PECVD系统所使用的频率范围，又可将其分成以下几类：■0Hz：直流间接法OTB公司■40KHz：Centrotherm公司管式直接

、降低成本。支持硅烷硫化床法等先进高纯多晶硅提纯工艺技术和关键装置、高转换效率和长寿命晶硅/新型薄膜太阳能电池、大规模系统集成等关键技术、设备和材料的研发和产业化。鼓励企业自主创新，建设一批国家级、省级

扩大 技术进步仍将是产业发展的主题。硅烷流化床法多晶硅生产工艺有望实现产业化生产，单晶连续投料生产工艺和G7、G8大容量铸锭技术持续进步，金刚线切割技术将得到进一步应用，PERC

类似事件。2013年5月23日凌晨2时左右，该公司在生产过程中，氢化工序回收装置换热器发生泄漏并自燃（主要成分氯硅烷）产生有毒烟雾，幸未造成人员伤亡和财产损失。

术进步仍将是产业发展的主题。硅烷流化床法多晶硅生产工艺有望实现产业化生产，单晶连续投料生产工艺和G7、G8大容量铸锭技术持续进步，金刚线切割技术将得到进一步应用，PERC电池、N型电池有望实现规模化