硅烷法
厂商有保利协鑫，新特能源和通威股份等。现在以保利协鑫为代表的一些企业正在积极探索硅烷流化床法，该方法对控制成本和提高纯度都有一定帮助。硅片属于资本密集型环节，其垄断相对硅料没有那么严重，在经过几年发展
Wacker、韩国OCI、挪威REC等，我国企业在这一领域发展较晚，多数在2005年以后。
在改良西门子法成熟后，国内硅料生产发展迅速，2018年生产的硅料在光伏行业已经能自给自足，现在规模较大的硅料
掌握在美、日、德等3个国家7个公司的10家工厂手中，形成技术封锁、市场垄断的状况。 目前国际上多晶硅生产主要的传统工艺有：改良西门子法、硅烷法和流化床法。其中改良西门子工艺生产的多晶硅的产能约占世界总产能的80%，短期内产业化技术垄断封锁的局面不会改变。
4 月底暂未完全恢复正常生产的企业包括内蒙通 威和内蒙东立。保利协鑫旗下江苏中能硅业改良西门子法多晶硅产能维持 6 万吨/年产能正常运行;硅烷流化床法 5000 吨/年颗粒硅项目部分检修， 暂
降低方式可以通过在电价较低的地区建厂等方式来实现。
从工艺端来看，目前硅料端的比较成熟的工艺是改良西门子法，包括H2制备与净化、HCl合成、SiHCl3合成、合成气干法分离、氯硅烷分离提纯
、SiHCl3氢还原、还原尾气干法分离、SiCI4氢化、氢化气干法分离、硅芯制备及产品整理、废气及残液处理等工艺组成。
改良西门子法能够显著降低能耗，具备成本低、质量好等优点，但降本已到极限。
流化床法在
。 2017年4月，保利协鑫曾公告称完成了对SunEdison第五代CCz连续直拉单晶、FBR硅烷流化床法技术及资产的收购。历经一年时间的吸收、优化、整合，保利协鑫已成为全球唯一一家同时拥有FBR和
2017年4月，保利协鑫还在单晶领域拿下一个足以撼动单晶行业的技术砝码。据了解，彼时，保利协鑫曾公告称，公司完成了对美国单晶老牌公司SunEdison第五代CCz连续直拉单晶、FBR硅烷流化床法技术及资产
、FBR硅烷流化床法技术及资产的收购，成为全球唯一同时拥有CCZ和FBR技术的企业。 不过，对于单多晶的路线选择，协鑫集团董事长、保利协鑫董事会主席朱共山今年3月份曾表示，目前多晶硅凭借性价比优势仍
、HCl合成、SiHCl3合成、合成气干法分离、氯硅烷分离提纯、SiHCl3氢还原、还原尾气干法分离、SiCI4氢化、氢化气干法分离、硅芯制备及产品整理、废气及残液处理等工艺组成。
改良西门子法能够
中占比最大，占比为44%，该项成本主要源自地域间的差异。因此硅料的成本降低方式可以通过在电价较低的地区建厂等方式来实现。
从工艺端来看，目前硅料端的比较成熟的工艺是改良西门子法，包括H2制备与净化
。反应气体主要为硅烷(SiH4)和氨气(NH3)，最终反应方程式如下：
SiNx薄膜对电池表面钝化原理：PECVD法在沉积SiNx薄膜时，会在薄膜中形成大量固定正电荷和游离的
2.1SiNx薄膜钝化研究
SiNx薄膜的制备方法有多种，从工艺效果和工业化生产来考虑，目前应用于太阳能电池生产的制备方法主要是等离子增强化学气相沉积(PECVD)法，PECVD方法的过程是在
、合成气干法分离、氯硅烷分离提纯、SiHCl3氢还原、还原尾气干法分离、SiCI4氢化、氢化气干法分离、硅芯制备及产品整理、废气及残液处理等工艺组成。
改良西门子法能够显著降低能耗，具备成本低、质量
主要源自地域间的差异。因此硅料的成本降低方式可以通过在电价较低的地区建厂等方式来实现。
从工艺端来看，目前硅料端的比较成熟的工艺是改良西门子法，包括H2制备与净化、HCl合成、SiHCl3合成
