硅液
西门子法主要包括三氯氢硅合成工艺，三氯氢硅精馏工艺，化学气相沉淀（还原）工艺和尾气回收再利用工艺。首先将冶金级工业硅粉（99％以上）、液氯为原料，采用电解水制氢气，氢气和氯气反应生成氯化氢，氯化氢与硅粉反应制得三氯氢硅，三氯氢硅再与氢气还原反应制得高纯度多晶硅。
，这段直径固定的部分即称为等径部分。单晶硅片取自于等径部分。
（6）尾部生长：在长完等径部分之后，如果立刻将晶棒与液面分开，那么效应力将使得晶棒出现位错与滑移线。于是为了避免此问题的发生，必须
将晶棒的直径慢慢缩小，直到成一尖点而与液面分开。这一过程称之为尾部生长。长完的晶棒被升至上炉室冷却一段时间后取出，即完成一次生长周期。
单晶硅棒加工成单晶硅抛光硅片
加工流程：
单晶
太阳能热发电市场。?
2.2太阳能光电技术及其产业?
2.2.1太阳能光电已成为全球发展最快的能源?
50年代第一块实用的硅太阳电池的问世，揭开了光电技术的序幕，也揭开了人类利用太阳能 的
两倍还多，如表2所示。单晶硅太阳电池的平均效率为15%，澳大利亚新南威尔士大学的实验室效率已达24.4%；多晶硅太阳电池效率也达14%，实验室最大效率为19.8%；非晶硅太阳电池的稳定效率，单结6～9
目前，制备多晶硅薄膜的工艺方法主要有以下几种：
（１）化学气相乘积法（ＣＶＤ法）
（２）等离子体增强化学气相沉积法（ＰＥＣＶＤ法）
（３）液相外延法（ＬＰＥ）
（４）等离子体溅射沉积法
效率已达10.7％。但是，该方法也存在生长速度太慢以及薄膜极易受损等问题，有待今后研究改进。
液相外延（ＬＰＥ）法就是通过将硅熔融在母液里，降低温度使硅析出成膜的一种方法，美国ASTRO
91.5MW，占太阳电池总量的34.7％。快速发展的光伏市场导致许多太阳电池生产厂家力求扩大生产能力，开辟大容量的太阳电池生产线。但目前太阳电池用硅材料大部分来源于半导体硅材料的等外品和单晶硅的头尾料，不能
铸锭工艺主要有定向凝固法和浇铸法两种。定向凝固法是将硅料放在柑塌中加以熔融，然后将柑塌从热场中逐渐下降或从增蜗底部通上冷源以造成一定的温度梯度，使固液界面从柑蜗底部向上移动而形成晶锭。定向
凝固法中有一种称为热交换法（HEM），在柑祸底部通入气体冷源来形成温度梯度。浇铸法是将熔化后的硅液从增祸中倒入另一模具中凝固以形成晶锭，铸出硅锭呈方形，切成的硅片一般尺寸为10cmXl0cm，平均晶粒
个9）熔融于石英坩埚中，然后把晶种插入液面，以每分钟2~20转的速率旋转，同时以每分钟0.3~10毫米的速度缓慢的往上拉引，如此即可形成一直径4~8吋单晶硅碇，此制作方法称为柴氏长晶法
，如附图1。
二、太阳能电池分非晶、单晶及多晶三种：二、太阳能电池分非晶、单晶及多晶三种：
（一）单晶硅的组成原子均按照一定的规则，周期性地排列，它的制作方法是把硅金属（纯度为
