石英材料
：作为多晶硅制造重要原料的高纯石英，投资2.5亿元的江西月兔硅材料科技有限公司就能提供丰富的原材料，公司主要生产高纯石英粉（砂）与高纯硅微粉，其高纯石英提纯技术填补了国内空白，在国际上居领先地位；生产
可能在2007年爆发。 事实上，全球最大光伏市场德国正在对进口酝酿限制措施，而拥有核心技术的上游原材料厂商结成的强势同盟随时可能涨价，或许2007年就是中国光伏产业的寒冬。 投资，再投资 2005年
一直是光伏产业的主要原料。芯片业对硅片的纯度、工艺以及固定资产投入要求都远远大于太阳能光伏产业。石英砂提纯之后，成为金属硅，纯度为98%。太阳能芯片纯度一般是99.999999999%，而芯片需要99
一、引言
近年来，半导体硅工艺中，出现了一种令人注目的新工艺—外加磁场直拉(MCZ)法〔l〕。它给硅材料工业带来一大变革。
半导体工业所用的硅单晶，几乎90%是用
cZ法生长的。常规cZ法生长的晶体中，氧主要来自石英钳锅，其浓度变化范围介于4.0 x 10'0与2.0 x 10`8原子/厘米”之间〔3,4)，随晶体生长的各种参数而变，其浓度上限接近于硅熔点时的饱和
。虽说坩埚的几何尺寸也在规格范围内，但离散性大，有时偏上限，有时偏下限。此外在石英坩埚的清洗和纯化，石英坩埚的包装材料上，坩埚厂家也有许多有待改进的地方。随着集成电路制造业向中国转移，带动了硅片的需求强劲
直拉法生产硅单晶，必须使用石英坩埚。石英坩埚按生产的硅单晶的级别分类有电子级和太阳能级，而电子级又根据产品的类别对石英坩埚有不同的要求。多年来通过石英坩埚及硅材料厂家的相互配合与支持，石英坩埚的
目前超过98％的电子元件材料全部使用单晶硅。其中用CZ法占了约85％，其他部份则是由浮融法FZ生长法。CZ法生长出的单晶硅，用在生产低功率的集成电路元件。而FZ法生长出的单晶硅则主要用在高功率
主要设备：CZ生长炉
CZ法生长炉的组成元件可分成四部分
（1）炉体：包括石英坩埚，石墨坩埚，加热及绝热元件，炉壁
（2）晶棒及坩埚拉升旋转机构：包括籽晶夹头，吊线及拉升旋转元件
型材料，将源料放入一端封闭的石英管中，然后抽真空，当真空度到1． 33X10-3pa以上时，将石英管封闭，制成一个安瓶，放入烧结炉中，缓慢加热到D50C进行合成。源料要求具有单一黄铜矿结构，且为p型
潜力。2．1．1单晶硅材料 单晶硅材料制造要经过如下过程：石英砂一冶金级硅一提纯和精炼一沉积多晶硅锭一单晶硅一硅片切割。 硅主要以siO2形式存在于石英和砂子中。它的制备主要是在电弧炉中用
99.999999999％，11 个 9）熔融于石英坩埚中，然后把晶种插入液面，以每分钟 2 ~ 20 转的速率旋转，同时以每分钟 0.3 ~ 10 毫米的速度缓慢的往上拉引，如此即可形成一直径 4
个9）熔融于石英坩埚中，然后把晶种插入液面，以每分钟2~20转的速率旋转，同时以每分钟0.3~10毫米的速度缓慢的往上拉引，如此即可形成一直径4~8吋单晶硅碇，此制作方法称为柴氏长晶法
）◆ 参展范围：1、半导体材料：单晶硅、硅片、锗硅材料、S01材料、太阳能电池用硅材料及化合物半导体材料、石英制品、石墨制品、防静电材料等；2、半导体设备：半导体封装设备、半导体扩散设备、半导体焊接设备
