烧结炉

线切割机、丝网印刷机和高温烧结炉的国产化制备、熔硅法生产太阳能级多晶硅材料制备、薄膜太阳能电池制备等三大技术瓶颈。 据了解，在专项支持下，中电48所已成功研制出单多晶清洗制绒设备、全自动

)，升温速度每秒180 ℃，冷却速度每秒150度。 志圣的镀膜前玻璃基材预烤机、EVA固烤炉、plasma edge isolation等产品已陆续交给太阳能厂商使用。高温烧结炉是RTP技术扩展的概念，以
降低生产工本、增加竞争力最佳途径。志圣推出高温烧结炉，是进入太阳能设备的重大进展，志圣已在PCB印刷电路板、FPD、印刷、SEMI四大行业站稳市场，因应客户需求，针对太阳能市场持续推出优势产品。长期与

产品简介：收购Tecnofimes公司后，德国Roth & Rau公司与其子公司共同开发名为CAMiNI的新型烧结炉。该系统特点是能效高、操作成本低。最初样品为双轨（6英寸晶片），以此为基础进行改进
，现最多可以同烧结三轨太阳能电池晶片。CAMiNI烧结炉 产量将达到6,000个晶片/小时以上。Roth & Rau公司已收到该系统的第一笔订单。 针对问题：烧结炉内使用金属带传输可能导致晶片掺入

Industries）宣布，该公司在开发成功的UltraFlex(TM)产品组合UltraFlex(TM)双向烧结炉和干燥机上取得最新进展。在单向UltraFlex(TM)的市场应用空前增长的情况下，迪斯派奇创造了
设备几乎不用在生产点进行维护。　　 迪斯派奇的烧结炉技术一直被认为在业界具有最高水平。公司的金属镀膜烧结炉目前市场占有量位居第一，仅在中国就售出200多部，向全球销售的烧结炉生产能力超过10GW

太阳能电池制造装备的龙头供应商。该所先后成功开发了扩散炉、PECVD、刻蚀机、高低温烧结炉、单晶炉、多晶炉、清洗机等光伏装备。　　长沙和台湾拥有广阔的合作前景据悉，台湾在光伏产业这一块起步比较早，发展也比较

日前，国产功率超高温SPS快速放电等离子烧结炉在晨华公司完成测试运行，各项指标达到设计要求，可以正式投产。 SPS炉—快速等离子烧结炉，是利用直流脉冲电直接加热模具，在高温大电流

高温烧结炉。另外，志圣也针对薄膜太阳能推出玻璃基板预烤固化烘烤设备，现阶段亦正在开发铜铟镓硒(CIGS)制程所需的硒化炉。

升温加热技术，升温速度为每秒180℃，冷却速度为每秒150度。新发表的高温烧结炉即是志圣采用RTP的技术延伸概念，以特殊流场气流有效运用热能，增加温度均匀性，适用于晶圆网印后银胶与铝胶快速烧结固化，最大

，然而关键制程如化学器气象沉积(PECVD)、烧结炉(Firing Furnace)、扩散炉(Diffusion)等仍技术不足。 　　晶硅与薄膜制程 　　回归到制程设备来看台湾厂商的发展现况，首先谈较
半导体，经由蚀刻(etching)将n型边缘除去，才能彰显出p-n二极管的结构，接着经过电浆镀膜(SiN-coating)、金属镀膜(Metallization)等方式在晶圆上印出导电电极，再经烧结炉

(125mm125mm)的高产能，PECVD实际工艺效果得到进一步的提升，色差现象基本消除，目前已累计装备近700MW的国内外生产线。快速烧结炉产品在温度均匀性、稳定性、冷却效果等方面持续提高。值得一提的是，由