烧结炉

PECVD、快速烧结炉和进口设备并存但份额在逐步增大，全自动丝网印刷机、自动分捡机、平板式PECVD已替代进口。组件生产用的层压机等在行业获得广泛应用。单晶炉、多线切割机已出口，45所生产的DXQ-601型

备有：800公斤多晶硅铸锭炉，8英寸150公斤高效、低能耗全自动单晶炉，这两种国产设备可以进一步降低晶硅材料的单位能耗和成本。硅片多线切割机、连续式湿法多晶制绒设备、全自动印刷机和全自动快速烧结炉等4种关键设备
尺寸的加大、劳动力成本的提高，更适宜整线自动化的连续式设备应给予重视。国产多线切割机、全自动丝网印刷机和快速高温烧结炉等关键设备今年刚刚开始试用，期待更全面的突破，进一步缩小与国际先进设备的差距，彻底

制造商，能提供晶体硅体太阳能电池制造产业链上的硅片加工设备，如铸锭炉、多线切割机等；电池制造设备如清洗/制绒机、扩散炉、等离子刻蚀机、管式PECVD、石英管清洗机、丝网印刷机、高低温烘干烧结炉、自动分选测试仪

成功自主研发了清洗机、扩散炉、PECVD、刻蚀机、高低温烧结炉、单晶炉、铸锭炉等太阳能光伏关键装备，实现了从单一设备发展到单台设备与工艺结合，又从整线设备发展到整线设备与工艺结合的“整线交钥匙”系统

，在发展电子专用装备的历程中艰辛探索，先后成功自主研发了清洗机、扩散炉、PECVD、刻蚀机、高低温烧结炉、单晶炉、铸锭炉等太阳能光伏关键装备，实现了从单一设备发展到单台设备与工艺结合，又从整线设备发展到

（Shine Magazine/光能杂志 & www.solarbe.com/索比太阳能光伏网 记者 李默 报道) 摘要: BTU采用独特的链式设计，在烧结炉和扩散炉市场独领风骚。迄今销售的
烧结炉已总产能超过5GW。1950年，BTU于美国麻省剑桥成立，从事医院和实验室以及烘干用炉子。60年后，BTU仍然在做炉子，但他们已经把热处理设备的应用范围扩展到了光伏、电子和核能领域。BTU一直

昨日，IC、光伏产业设备制造基地项目在青岛高新区举行开工奠基仪式。据了解，项目一期占地50亩，投资1.2亿元人民币，计划2012年3月投产，主要生产太阳能电池片专用扩散炉、PECVD、烤盘炉、烧结炉

,加快促进能源装备的绿色低碳发展。我们迫切需要加快能源装备制造的基础装备研发和产业化力度,切实提高产业自主发展能力。目前,我国太阳能光伏电池产量已居世界首位,但丝网印刷机、高温烧结炉等关键设备仍主要依靠

和产业化力度,切实提高产业自主发展能力。　　目前,我国太阳能光伏电池产量已居世界首位,但丝网印刷机、高温烧结炉等关键设备仍主要依靠进口,大大增加了我国太阳能光伏电池的投资和生产成本。　　国产化替代进口

为主。在电池制造环节,国产设备在数量上已占据多数,但核心工艺装备如多晶硅制绒清洗机、平板式PECVD(等离子化学气相沉积)、全自动丝网印刷机及快速烧结炉基本上依赖进口。特别值得一提的是,随着未来