烧结炉
型晶体硅电池中被广泛应用于形成铝背场，是产业化中非常成熟的技术之
一，它采用了丝网印刷Al浆烧结形成pn结。丝网印刷机和高温烧结炉都是目前p型晶体硅电池生产所采用的设备，因此和目前生产线具有完全的
中国科学院微电子研究所太阳能电池研究中心
从2009年，中国科学院微电子研究所利用自主研发的铝浆料，通过链式烧结炉推进形成Al-p +发射极。在N型太阳能级硅衬底上制备了背结前接触太阳能电池。目前，已
国产太阳能电池制造装备市场份额80%，是我国太阳能电池制造装备的龙头供应商。该所先后成功开发了扩散炉、PECVD、刻蚀机、高低温烧结炉、单晶炉、多晶炉、清洗机等光伏装备。48所需要进一步抢占技术制高点
机，硅片自动分选机等关键生产设备。支持多槽制绒清洗设备、全自动平板式等离子体增强化学汽相沉积（PECVD）、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、全自动印刷机、快速烧结炉等晶硅太阳能电池片生产线设备和
、铸锭炉、清洗机、扩散炉、刻蚀机、PECVD、高低温烧结炉等光伏装备，并一跃成为支撑我国太阳能光伏产业快速发展的太阳能电池制造装备龙头供应商，打造了世界光伏看中国，中国光伏装备在湖南的发展格局。 在
与美化环境完美结合起来。在探索先进工艺的过程中，48所对扩散炉温度控制系统、PECVD压力控制系统、清洗机自动补液系统、高温烧结炉网带自纠偏系统、丝网印刷机压力自适应系统等一系列关键技术进行了改进
向我们定购一组用于扩散和抗反射涂层的关键设备。另一家历史悠久的著名台湾客户也订购了c.FIRE新一代的快速烧结炉。centrotherm photovoltaics是扩散和PECVD系统方面的全球市场
领先者，公司在快速烧结炉领域排行第二。在破产保护准备事宜中，公司目前的项目仍然在继续，并没有受到影响。在未来的时间里，将进一步向一具有多年历史的中国客户提供360MW的太阳能电池关键设备。业务运行没有
客户订购了一台扩散和减反射膜的关键设备。另外一家成立多年的台湾知名企业订购了新一代快速烧结炉c.FIRE。Centrotherm公司是全球扩散和PECVD系统的市场领导者，在快速烧结炉方面排在第二位
领先的技术和设备供应优势。例如，一个新的台湾客户订购了一款扩散和减反射膜的关键设备。还有一家著名的成立多年的台湾公司订购了c.FIRE--新一代快速烧结炉。Centrotherm公司是扩散和PECVD
系统的全球领导者，在快速烧结炉方面也排名第二。在破产保护的安排下，目前的项目也得以继续进行。在未来数天，一个360MW太阳能电池生产线的关键设备将会部分交付给一家来自中国的成立多年的客户。无缝延续运营
、后端的烧结炉等，温控器几乎遍布了太阳能产业链的各个环节。随着09、10年太阳能光伏领域的爆发式增长，也随之带动了温控器的需求量，许多温控器厂家都将太阳能领域作为主要的业务焦点。2011年下半年开始
发光强度下降或不发光。图5 断栅EL测试图2.4 烧结缺陷一般而言，烧结参数没有优化或设备存在问题时，EL测试图上会显示网袋印（图6）。采用顶针式或斜坡式的网袋则可有效消除网袋问题，图7是顶针式烧结炉里
达到了21.6%。松下现在年HIT太阳能电池产能是600MW。 九、Roth & Rau的CAMiNI烧结炉获批量生产资格Roth & Rau的 CAMiNI烧结炉最近首次部署在匿名的台湾电池制造商处
大批量生产，因此该公司指出，CAMiNI已经成功获得大批量生产的资格。在资格审查的最后阶段，该烧结炉据称已经完成了百万硅片的耐受实验，电池制造商表示使用CAMiNI得到了比竞争对手产品更好的结果
