激光设备

在150mm见方的电池单元表面形成的氮化硅膜上，利用激光打出1亿个小孔。在量产方面该公司开发的激光加工设备的处理能力如何提高是一大课题。如果能够提高激光加工设备的处理能力，便可降低单位输出功率的制造成本。

，利用激光打出1亿个小孔。在量产方面该公司开发的激光加工设备的处理能力如何提高是一大课题。如果能够提高激光加工设备的处理能力，便可降低单位输出功率的制造成本。

Applied Materials Inc.已向精密测量领域迈进，日前发布了其最新的深紫外明视野晶圆检测设备——UVision 3系统。 据Applied介绍，该设备专为45nm节点关键
缺陷监测而设计。如果配合灵敏光电倍增管（PMT）使用，UVision 3还可用于32nm存储产品的制造。 Applied还介绍，该系统用于扫描晶圆的激光束是市场同类产品的3倍，这使得吞吐量提升40

已完成了采用“溅射金属预制层再硒化、硫化”工艺路线、设计产能为60MW/年的厂房建设和首期30MW生产设备的安装调试，并已于2007年9月正式投产。与其它采用类似工艺的公司相比，CIGSSe（铜铟镓硫
%/℃，而CIGSSe薄膜太阳电池功率温度系数只有晶硅电池的一半左右。孚日光伏项目所采用的溅射后硒化生产工艺，技术先进，设备投资小。硒化炉一次可以放入数十片电池，相比共蒸发法一次一片的生产方式，“溅射金属

太阳能电池工厂。工厂目前还在设计之中，将于2008年3月开工建设。设备导入将在2008年9月工厂落成的同时开始，在2009年第二季度之前投入量产。最初将生产非晶硅单层模块。工厂将导入两条由爱发科提供的
万m2。产品将首先面向欧美市场供应，未来还将瞄准中国市场。 新工厂的生产线中将导入等离子CVD装置、激光划线装置、溅射装置、封装装置等。爱发科将负责为烟台工厂提供生产线建设、试运转和生产指导

各层厚度及均匀性，改善各层之间界面状态。而对薄膜硅太阳能电池，集成型非晶硅太阳能电池的激光切割的使用有效面积达90%以上，目前大面积大量生产的硅薄膜太阳能电池的光电转换效率为5%-8%。研发的领域主要
膜的工艺和设备，目前通常做法是采用TFT-LCD工艺中用于薄膜晶体管生产的设备，来生产薄膜硅太阳能电池。美国、欧洲和日本的半导体设备供应商，都在积极努力角逐这一市场。从5代线(基板规格1.1米×1.3

）系统、激光设备以及工厂自动化软件等全系列能代表应用材料公司SunFabTM大规模太阳能面板制造薄膜生产线的设备。 　　SunFab技术中心为应用材料主要的太阳能研发中心，专注于提高模块的转换效率并

激光曝光机部件 89、陶瓷金属卤化物灯生产设备 90、力反馈器(PHANTOM) 91、VR平台(Freeform) 92、低剂量X射线安全检查设备：X射线发生器管电压

公司的PECVD（等离子加强化学气相沉积）和ATON PVD（物理气相沉积）系统、激光设备以及工厂自动化软件等全系列能代表应用材料公司SunFab大规模太阳能面板制造薄膜生产线的设备。SunFab
近日，应用材料公司建立了SunFab技术中心业内最先进的新一代太阳能技术应用中心，为光伏电池的研发开创了新纪元。该中心位于德国Alzenau，面积2000平米，具有殿堂级的模块制造设备，包括应用材料

太阳能电池工厂。工厂目前还在设计之中，将于2008年3月开工建设。设备导入将在2008年9月工厂落成的同时开始，在2009年第二季度之前投入量产。最初将生产非晶硅单层模块。工厂将导入两条由爱发科提供的年产量
m2。产品将首先面向欧美市场供应，未来还将瞄准中国市场。 新工厂的生产线中将导入等离子CVD装置、激光划线装置、溅射装置、封装装置等。爱发科将负责为烟台工厂提供生产线建设、试运转和生产指导。在此之前