激光硅沉积
多晶硅由一块内置多晶硅区域彼此分离，该区域使用实验室工艺进行处理。ISFH指出介质背面反射激光消融，类似于目前的生产技术。
创下记录的电池在经过ISO 17025认证的校准和测试中心ISFH-
。 Centrotherm在低压化学气相沉积反应器中沉淀了多晶硅层，瓦克化学贡献了硅片的高温加工知识。
ISFH的研究获得了德国联邦经济和能源部(BMWi)以及下萨克森州的资金支持。
POLO触点单晶硅太阳能电池，两极都在太阳能电池背面。前方图片是在一块硅片上加工的七个太阳能电池背部，后方图片是整个前部。
仅仅是对背表面沉积和激光开背等工艺进行优化。太阳能电池生产线上的每一步骤均需相互配合。PERC技术并非即时解决方案，而需要时间来完成转型。我们同时还涵盖了单晶/多晶领域，毫无意外地，在太阳能电池工艺阶段
获得足够的市场份额。尽管Roth & Rau公司的重点是在前表面的SiN沉积工艺上，PERC工艺中的后表面材料沉积则对梅耶博格的营收有着重要的贡献。激光设备供应也通常来自欧洲的激光设备集成商
钝化和局部铝背场）工艺技术。PERC工艺采用原子层沉积(ALD)或等离子体增强化学气相沉积(PECVD)工艺，在硅片背面形成氧化铝膜层，然后再在该膜基础上生长一层氮化硅膜进行保护。通过在背钝化膜层采用
形貌技术，红外显微技术等方法。
2.3微缺陷结构
直拉单晶中微缺陷比较复杂。TEM观察到在原生直拉硅单晶中，存在着间隙位错环，位错团和小的堆跺层错等构成的微缺陷，以及板片状SiO2沉积物，退火Cz
硅单晶中的微缺陷为体层错、氧沉淀物及沉淀物-位错-络合物等。Cz硅中的原生缺陷分别是根据不同的测量方法而命名，有三种：1.使用激光散射层析摄影仪检测到的红外(IR)散射中心(LSTD);2.经一号清洗液
沉积AlOx产业化制备技术和设备的成熟，加上激光技术的引入，PERC技术开始逐步走向产业化。目前，PERC电池大面积可量产效率持续攀升，在打破记录之前，单晶PERC电池产线效率普遍达到21-21.5
商业技术带来重要意义。NO.10腾晖光伏成功研制第一片新型石墨烯晶硅电池8月，苏州腾晖光伏技术有限公司通过与高校合作，研制成功了石墨烯晶硅电池，其中石墨烯主要通过化学气相方法沉积并成功应用于大面积
检测测试仪器生产。重点引进全自动大面积等离子增强化学气相沉积（PECVD）、多槽制绒清洗设备、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、高精度丝网印刷机等晶硅电池片生产线设备，大面积TCO导电玻璃镀膜设备
光伏产品和检测测试仪器生产。重点引进全自动大面积等离子增强化学气相沉积(PECVD)、多槽制绒清洗设备、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、高精度丝网印刷机等晶硅电池片生产线设备，大面积TCO导电玻璃
（PECVD）、多槽制绒清洗设备、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、高精度丝网印刷机等晶硅电池片生产线设备，大面积TCO导电玻璃镀膜设备、用于背电极制备的多靶位磁控溅射系统，以及大尺寸、超薄硅片多
）、多槽制绒清洗设备、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、高精度丝网印刷机等晶硅电池片生产线设备，大面积TCO导电玻璃镀膜设备、用于背电极制备的多靶位磁控溅射系统，以及大尺寸、超薄硅片多线切割机、自动
一种非常有应用前景的N型高效电池的技术。图6德国FraunhoferPassDop技术PERL电池结构示意图图7PassDop激光掺杂示意图(a)基体硅背面（b）沉积磷掺杂的a-SiCx钝化层（c）激光
