激光印刷

寿命为70s左右，最高值达89s。如果能严控实验过程中的表面污染，少子寿命还能有明显提高。2.3、激光烧蚀开膜实现PERC电池背面电极局域接触，常见的方法有激光烧结和激光烧蚀。激光烧结要先印刷铝浆再

，成为行业关注和研究的热点。根据图1和2国际光伏技术路线图ITRPV2015的预测，随着背接触（BC）、异质结（HIT）等电池新结构，及激光、离子注入等新技术的引入，N型单晶电池的效率优势会越来越明显
（PassivatedEmitterRearLocally-diffused），其结构特点是背面局部接触处重掺杂以降低电池背面局部接触区域的接触电阻和复合速率。背面局部重掺可以通过不同的工艺方式实现，比较常用的是激光掺杂和离子注入等。另外，PERL

，以获得高性价比产品，提升竞争优势。其中，专注于钝化发射极背面电池(PERC)技术的中美晶，2015年第四季度与伏激光技术设备专家InnoLas Solutions签订合作，采用超快激光接触开缝(LCO
的主流光伏制造商加大了对高效电池的研发与投入，并各自取得不同程度的突破。高效电池研发，将以组件量产定胜负随着背接触（BC）、异质结（HIT）、双面（BC）等电池新结构的开发及激光、离子注入、双面钝化等

每块硅片需要钻约200个通孔。　　图2MWT电池及其结构MWT电池的制作流程大致为：激光打孔清洗制绒发射极扩散（包括孔内）去PSG沉积SiN印刷正面电极印刷背面电极印刷背电场烧结激光隔绝测试分选工艺中的

、太阳能硅制备技术比较　　图2、直接硅片技术：siliconfilm　　图3、硅管技术用激光枪把硅管从中切开，硅管可以像纸一样展开。再用印刷技术制备大面积的太阳能电池（EFG）　　图4、直接硅片技术：硅片

。Terres等人使用飞秒激光器成功制备出黑硅并验证了其转换效率比非制绒硅电池效率高。局部金属催化湿化学腐蚀的方法也可以制作黑硅，电池效率能达到12-14%。反应离子刻蚀（RIE）技术被广泛应用于制备黑硅
的SiNx厚度为80nm、折射率为2.05。最后丝网印刷、烧结制备成电池。表1制备黑硅的条件通过AFM研究了黑硅的表面微观结构和表面面积。通过带有积分球探测器的紫外可见近红外分光光度计（Varian

降低而迅速受到重视，其工艺有喷涂磷酸水溶液扩散与丝网印刷磷浆料扩散二种。在链式扩散技术上，BTU、SCHMID以及中电集团第48所均已有长时间的研究及会取代目前管式扩散成为主流生产装备与技术
。 2.3去边技术 产业化的周边PN结去除方式是等离子体干法刻蚀，该方法技术成熟、产量大，但存在过刻、钻刻及不均匀的现象，不仅影响电池的转换效率，而且导致电池片蹦边、色差与缺角等不良率上升。激光开槽隔离技术

降低而迅速受到重视，其工艺有喷涂磷酸水溶液扩散与丝网印刷磷浆料扩散二种。在链式扩散技术上，BTU、SCHMID以及中电集团第48所均已有长时间的研究及会取代目前管式扩散成为主流生产装备与技术。 2.3
去边技术 产业化的周边PN结去除方式是等离子体干法刻蚀，该方法技术成熟、产量大，但存在过刻、钻刻及不均匀的现象，不仅影响电池的转换效率，而且导致电池片蹦边、色差与缺角等不良率上升。激光开槽隔离技术

、Solamet? PV36x铝浆、PV56x背面银浆--全套完整的PERC浆料解决方案。该系列导电浆料拥有更宽的烧结窗口、更好的低温烧结特性及更为优异的细线印刷能力等特点，可协助PERC电池提升0.15
充分利用； （3） 具有较高的开路电压、短路电流和电池转化效率。 不仅如此，随着电池浆料印刷、扩散工艺的进一步提升，杜邦? Solamet? PV76x系列还具有广阔的的优化提升空间。同时相对于其他

PV36x铝浆、PV56x背面银浆--全套完整的PERC浆料解决方案。该系列导电浆料拥有更宽的烧结窗口、更好的低温烧结特性及更为优异的细线印刷能力等特点，可协助PERC电池提升0.15%以上的电池转换效率。而
。不仅如此，随着电池浆料印刷、扩散工艺的进一步提升，杜邦 Solamet PV76x系列还具有广阔的的优化提升空间。同时相对于其他新型电池结构来讲，PERC电池技术对于现有产线的改动较小，只需要增加