清洗方法

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Synova推出晶圆激光切割系统来源:solarbe.com 发布时间:2007-05-24 15:05:00

,旨在为芯片制造商们提供更大工作面积的高速设备。LDS 300能够将最大尺寸为300-mm的晶圆切割成尺寸最小为0.25 x 0.25 mm的芯片。迄今为止,包括晶圆装载盒、清洗以及质量控制等组件在内
切割方法不同的是,Laser Microjet使用微水柱来冷却材料表面,避免了材料表面的热损伤,从而获得了理想的保护。同时,水流形成了一层流动的天然保护层,避免了污染物和熔渣附着。上述两个表面保护特性

2007中国(北京)国际半导体工业技术与设备展览会来源: 发布时间:2007-05-17 20:50:41

、半导体清洗设备、半导体测试设备、半导体制冷设备、半导体氧化设备等;3、半导体分立器件产品与应用技术等;4、半导体光电器件;5、IC产品与应用技术、IC测试方法与测试仪器、IC设计与设计工具、IC