氮化硅

35%,为了减少表面反射,提高电池的转换效率,需要沉积一层氮化硅减反射膜。现在工业生产中常采用PECVD设备制备减反射膜。PECVD即等离子增强型化学气相沉积。它的技术原理是利用低温等离子体作能量源
，样品置于低气压下辉光放电的阴极上，利用辉光放电使样品升温到预定的温度，然后通入适量的反应气体SiH4和NH3，气体经一系列化学反应和等离子体反应，在样品表面形成固态薄膜即氮化硅薄膜。一般情况下，使用这种

以及氢氯化所用的气体，多晶硅铸锭用的氮化硅粉，惰性气体，以及其它反应气体。 在多晶硅铸锭时用到的石英坩埚，铸锭炉和单晶炉内用的石英坩埚（又分为石英陶瓷坩埚和石英玻璃坩埚），隔热用的碳毡（分为硬毡

氯氢硅等，氢气以及氢氯化所用的气体，多晶硅铸锭用的氮化硅粉，惰性气体，以及其它反应气体。在多晶硅铸锭时用到的石英坩埚，铸锭炉和单晶炉内用的石英坩埚（又分为石英陶瓷坩埚和石英玻璃坩埚），隔热用的碳毡

基本上就可直接判断为腐蚀过头了问题。也就是说这个银纳米胶体通道的多少及通道导电能力强弱是一个关键，这个关键对应玻璃来说就是溶银及控制银胶体生成的能力、对氮化硅腐蚀情况的控制能力了。玻璃体系的演化兼顾了
这两点，直到现在所谓的碲科技似乎就很好的满足了这两点。对氮化硅腐蚀情况的控制取决于玻璃体系自身的腐蚀能力和高温流动特性。对于腐蚀能力这个没有量化标准，只能以杜邦产品为标准，而对于高温流动特性则是不同腐蚀

腐蚀过头了问题。也就是说这个银纳米胶体通道的多少及通道导电能力强弱是一个关键，这个关键对应玻璃来说就是溶银及控制银胶体生成的能力、对氮化硅腐蚀情况的控制能力了。玻璃体系的演化兼顾了这两点，直到现在所谓的
碲科技似乎就很好的满足了这两点。对氮化硅腐蚀情况的控制取决于玻璃体系自身的腐蚀能力和高温流动特性。对于腐蚀能力这个没有量化标准，只能以杜邦产品为标准，而对于高温流动特性则是不同腐蚀能力玻璃体系都要遵循

。目前常规电池制备抗PID阻挡层的方法包括提高氮化硅膜折射率、利用笑气沉积氮氧化硅、臭氧氧化形成SiO2氧化层、紫外光激发形成SiO2氧化层等等，这些方法各有利弊。经过长时间研究与对比，荣马新能源选用

的面积，进而使沉积在硅片表面的氮化硅膜面积最大化。一种多次反射聚光光伏发电系统采用多级聚光技术，增加聚光倍数，提高发电量，同时采用主动跟踪装置，只需输入该装置的经纬度，即可自动跟踪太阳，系统稳定性好，成本性价比高。

阳能电池背面氧化铝及氮化硅顶层涂层，其可以在单一系统中与电池正面防反射涂层结合进行。　　OFweek视点：PERC太阳能电池技术是EU PVSEC的讨论要点之一。该技术被视作关键技术升级之一，有望在未来两年

扩大其位于马来西亚的主要制造厂的生产，并且提高太阳能电池，如韩华QCELLS品牌下的Q.ANTUM系列的效率。MAiA加工平台承担太阳能电池背面氧化铝及氮化硅顶层涂层，其可以在单一系统中与电池正面防反

Q CELLS目前正在扩大其位于马来西亚的主要制造厂的生产，并且提高太阳能电池，如韩华Q CELLS品牌下的Q.ANTUM系列的效率。 　　MAiA加工平台承担太阳能电池背面氧化铝及氮化硅顶层涂层，其