机械法

颗粒沾污：运用物理的方法可采机械擦洗或超声波清洗技术来去除粒径 ≥ 0.4 μm颗粒，利用兆声波可去除 ≥ 0.2 μm颗粒。　　C. 金属离子沾污：必须采用化学的方法才能清洗其沾污，硅片表面金属
清洗、干燥工艺后形成的硅片H表面 (H-terminal) 在其以后的工艺流程中可按要求在臭氧气相中被重新氧化. 五. 总结1. 用RCA法清洗对去除粒子有效，但对去除金属杂质Al、Fe效果很小

"。1998年1月1日实施的《中华人民共和国节约能源法》明确提出"国家鼓励开发利用新能源和可再生能源"。国家计委、国家科委、国家经贸委制订的《1996－2010年新能源和可再生能源发展纲要》则进一步明确，要按
，占我国当时能源消费总量的2%[](如果包括小水电，则将达到3.6%)；其产业将成为国民经济的一个新兴行业，拉动机械、电子、化工、材料等相关行业的发展；对减轻大气污染、改善大气环境质量作用明显，将减少

液压机：公称压力＞9000t 10、数控切割机：板厚＞40mm 11、精密运动控制相关的工艺和专用装备 12、高速、高精密机械手 13、冷、热连轧板带轧机：板宽
＞10t 25、带胶轮的其他自推进起重机械：起重量＞100t 26、气压升降机及输送机：起重量＞5t 27、刮板输送机：功率＞1000KW 28、全断面掘进机：刀盘直径

，并提供其相关的技术服务。2004年收入达80亿美元并连续13年在半导体生产设备领域独占鳌头。公司所生产的主要设备可进行离子注入，快速热处理(RTP)，化学机械抛光(CMP)，晶片检测及计量。目前在
CORP CVD法蒸发半导体硅 JP1283817 1989-3-24 1989-11-15 HEMLOCK SEMICONDUCTOR CORP 6.

机械电子、装备制造业和服装、鞋帽、家俱等劳动密集型产业；加快怀化市工业园、怀化经济开发区等园区建设，引导产业项目向园区集中，发挥产业集聚效应，构筑市本级工业快速发展的平台；加大扶持第三产业发展的力度
群众利益诉求渠道，保证人民群众的知情权、参与权、表达权和监督权。加强公、检、法、司等政权建设。加强司法监督，推进司法改革，完善司法体制，维护司法公正。进一步加强全民普法和法制教育宣传，增强全体公民的

面积来计算的。而日本国对于太阳能利用的机械统计，分为太阳能集热器、太阳能系统、蓄热槽、太阳能热水器。笔者据此和欧美的进行了比较，设定太阳能热水器面积为3m2，用“集热器合计”面积来进行推算。根据表中所
。 2000年以后，德国太阳能利用迅速普及，其中可能的原因是可再生能源法的制定以及和它相伴的补助金制度的推进。德国家庭用燃料价格高出日本1.6倍，有数量众多的可供消费者选择的太阳能设备制造商

、高机械强度、高平整度等优异特点，广泛应用于光电、光热行业。其产品各项性能指标达到或超过国外同类产品水平，填补了国内空白，并打破了国外技术和产品市场的垄断。 公司秉承“求实、创新、团结、高效
"深圳南玻微电子科技股份有限公司"。 2001年4月9日，超薄浮法公司与法国Stein Heutery公司（斯坦因霍特-迈克公司）签署了二线热端三大热工设备的主承包合同，全面启动了浮法公司生产二线的

《可再生能源法》（于2006年1月1日实施）；此后，有关新能源的政策陆续出台，如《可再生能源发电价格和费用分摊管理试行办法》、《可再生能源发电有关管理规定》、《可再生能源发展专项资金管理暂行办法
台风机成功并网发电。 　　2007年6月，轻工机械（600605）公告称其股东上海弘昌晟集团决定将在今年注入其在内蒙古乌兰察布市已拥有的400 平方公里的风电场；2006年9月，漳泽电力（000767

提高电池的最终产品质量、光电转换效率、整线生产效率，降低生产成本。因此，未来设备的技术发展将始终围绕着以下几方面进行：提高单机自动化水平，增加批次装片量，提高单机生产效率；设备间机械手自动转送，在线检测
× 156mm电池片生产的需要，就必须改用8英寸单晶炉，但其生产成本将远高于多晶铸锭法生产的硅片，是电池企业无法接受的。因此，光伏用156mm×156mm硅片将转向多晶硅片，改用多晶硅铸锭炉生产，将拉动

　　光伏发电将成为未来电网的支柱和方向。随着我国《可再生能源法》的颁布实施，以及近两年我国光伏产业规模的迅速扩大，生产设备销量也大幅增长。2006年国产光伏电池设备销售额达到6亿元，比2005年增长
方硅片生产工艺为例，要开发单机生产能力在50MW的生产设备，同时要实现机械手自动传送、在线检测等功能，提高整线生产效率，减少人工干预，降低碎片率。 　　第三，提高设备的运行稳定性。据调查，国内设备的