曜能科技

崭露头角，已有台湾设备厂精曜科技（E5-568）、中国大陆晋能、协鑫、金石能源等厂商宣布投入。多栅线（MBB）电池能见度提高，设备、栅线设计、浆料选用等技术议题都将影响MBB电池进入商用阶段的脚步。多晶
国际太阳能产业年度盛会──上海SNEC展览暨研讨会将于4月17日至21日分阶段展开。1,500个摊位、四天共20场主题研讨会该怎么看？EnergyTrend团队抢先整理看点！技术亮点作为全球产业链最

与生产。基于对多层结构结合技术的需求，HJT电池需要特殊设备才能生产。目前全球主要的HJT设备商数量不多，其中一间是位于台湾的精曜科技。国际订单涌入，设备组件化因应精曜科技为精密半导体设备商，因看好

索比光伏网讯:日前，精曜科技宣布获得全球前十大晶体硅太阳能电池厂商之一的异质结电池关键量产设备续单，这标志全球HJT电池技术在经过几年的技术开发、提升和设备验证后，现在已具备规模化量产的条件。据介绍

（PECVD）沉积多层非晶硅层以钝化硅片的表面，这在元器件的性能表现方面起到至关重要的作用。使用精曜科技的PECVD设备在160um厚的绒面常规n型CZ硅片表面沉积5nm厚的非晶硅钝化层，我们得到了非常低的
2.1 等离子增强化学气相沉积 在生产制造HJT太阳能电池的过程中，PECVD扮演着最重要的角色。其不仅决定着对产品性能起至关重要作用的钝化效果，同时也占据了最大的设备成本。非晶硅钝化层由精曜(苏州

其它光伏技术的优异性，其将成为下一代高效太阳能电池技术的主流发展趋势。精曜科技所推出的新一代大面积PECVD系统主要用于沉积非晶硅膜层，其良好的硬件性能保证了制备产品高于730 mV 的潜在开路电压，并且均匀性保持在1%以内。这些结果表明精曜科技的PECVD设备完全满足量产高效电池的需求。

%)，结构简单，制程温度低( 250℃)，无LID 效应，无PID 效应 以及工艺步骤少（如图1所示）等优点。　　(左)精曜科技HJT太阳能电池膜层结构； (右) HJT生产制备流程　　(a) 采用不同的

）太阳能电池具有重要的意义，因为其具有效率高(24.7%)，结构简单，制程温度低( 250℃)，无LID 效应，无PID 效应 以及工艺步骤少（如图1所示）等优点。 (左)精曜科技HJT太阳能

申能（集团）有限公司、上海申欣环保实业有限公司 吴建雄、徐建刚、孙忞、姚珉芳、李伟艺、黄国雄、徐淑红、平曜公、姚俊、史平洋

索比光伏网讯:英属盖曼群岛商精曜有限公司（以下简称精曜公司）是经中国节能环保集团公司批准，由中节能（山东）投资发展公司（以下简称山东公司）于2012年3月并购的境外高科技企业,是一家专注于大型精密
镀膜设备研发、设计、销售的高科技装备公司。精曜公司核心技术团队分别来自美国应材、美国诺发系统、台湾积体电路、台湾友达、台湾联相等国际一线半导体及光伏大厂，有丰富的大型精密设备开发、工艺开发经验和高科技