扩散炉

设备整线供给能力。经多次技术换代及升级，国产的太阳能电池及组件生产线关键生产设备如硅片清洗机、8英寸扩散炉、等离子刻蚀机、PSG祛除机、低温烘干炉、高温烧结炉等相继在国内大生产线上替代了进口设备，并

昌金铭 德国Matrixx Technology 徐 龙 经理 扩散及丝网印刷技术新进展/烧结炉的技术进步 德国Manz 汪光裕

原因是，（1）CdS层高度惨杂，因此耗尽区只是CdS厚度的一小部分；（2）由于CdS层内缺陷密度较高，空穴扩散长度非常短，如果耗尽区没有电场，载流子收集无效。 因此减少缺陷密度，可使扩散长度
增加，能在CdS层内收集到更多的光激发载流子。 1.3 CdS簿膜电学特性 一般而言，本征CdS薄膜的串联电阻很高，不利于做窗口层，在300℃-350℃之间，将In扩散入CdS中，把本征

空间应用不断扩大，工艺不断改进，电他设计逐步定型。这是硅太阳电池发展的第一个时期。第二个时期开始于70年代初，在这个时期背表面场、细栅金属化、浅结表面扩散和表面织构化开始引人到电池的制造工艺中
寿命衬底尤为重要；V型槽可使发射极横向电阻降低3倍。由于PESC电他的最佳发射极方块电阻在150 Ω／口以上，降低发射极电阻可提高电池填充因子。 在发射结磷扩散后，…m厚的Al层沉积在电他背面

太阳能电池及组件制造装备 用于制造太阳能电池及组件，包括：太阳级硅投炉料制造成套装备，多晶硅铸锭炉，多线切割机，剖锭机，硅片抛光设备，硅片清洗机，扩散设备

膜、电极/催化剂、气体扩散膜、单乙醇胺、分离器、其他堆栈材料；◇评估/测试/分析展区：电特性检测器、单电池检测设备、电化学阻抗测量设备、电力负荷设备、气体分析装置、氢传感器、流量计、露点湿度计/温度计
技术/微型机电系统、加热炉/燃烧炉/干燥炉、磨床、各种制造设备/元件、各种加工技术等◇相关装备展区：共生系统、热交换装置、供气设备/鼓风机、纯净水制造设备、吸收冷却器、燃气排放（水、二氧化碳）蒸汽/热水锅炉