扩散炉

杂质扩散需用冷壁，恒定侧面纵向温梯5、底部红区需用低TC2（生长和应力缺陷大），不用闭笼冷却（等温差冷却）6、籽晶回收类单晶成本下降问题（用G6坩埚）目前很多公司用G5多晶炉改造进行类单晶实验。一类片可能性
索比光伏网讯:控制型类单晶或全单晶铸锭：需引入籽晶，通过控制籽晶熔化、界面形状（平）、温度梯度（纵向）、位错密度（成核方向，温梯）、浓度分布等。实现全单晶或类单晶生产。大体可采用现有铸锭炉改型，或

纳米制程能力，拥有4~12寸矽晶圆产能，更挟带世界重量级客户认证，也让中美矽晶成为世界半导体扩散晶圆及磊晶的前3大。徐秀兰说，半导体订单能见度不差，产能一路从美国Globitech满载到台湾，目前中国
目前亦有31项蓝宝石的专利。中美矽晶以90公斤蓝宝石长晶为主，目前所有的量产炉均以此尺寸为主，相信未来LED蓝宝晶圆尺寸将从目前的2寸升至4寸，显示中美矽晶已做好大尺寸的长晶技术准备，届时将凸显本身的

进行分离精馏提纯，提纯后的三氯氢硅在氢还原炉内进行CVD反应生产高纯多晶硅。国内外现有的多晶硅厂绝大部分采用此法生产电子级与太阳能级多晶硅。2 流化床法硅烷法硅烷热分解法硅烷(SiH4)是以四氯化硅
氢化法、硅合金分解法、氢化物还原法、硅的直接氢化法等方法制取。然后将制得的硅烷气提纯后在热分解炉生产纯度较高的棒状多晶硅。以前只有日本小松掌握此技术，由于发生过严重的爆炸事故后，没有继续扩大生产。但美国

。正确的PVB膜的选择依赖于PV模块中的应用类型以及光伏电池。Tempress 太阳能扩散炉市场份额增至40%Tempress Systems近期宣布其在太阳能电池扩散炉的市场份额增加了大约40

、清洗设备、检测设备、其它相关设备；电池生产设备：全套生产线、蚀刻设备、清洗设备、扩散炉、覆膜设备/沉积炉、印刷机、测试仪和分选机等；电池板/组件生产设备：全套生产线、测试设备、玻璃清洗设备、结线
控制系统、太阳能取暖系统工程、太阳能光伏工程过程控制和工程管理及软件编制系统；◆光伏生产设备：硅棒硅块硅锭生产设备：全套生产线、铸锭炉、坩埚、生长炉、其它相关设备；硅片晶圆生产设备：全套生产线、切割设备

清洗方法清洗，然后用酸(或堿)溶液将硅片表面切割损伤层除去30-50um。(3)制备绒面：用堿溶液对硅片进行各向异性腐蚀在硅片表面制备绒面。(4)磷扩散：采用涂布源(或液态源，或固态氮化磷片状源)进行
扩散，制成PN+结，结深一般为0.3-0.5um。(5)周边刻蚀：扩散时在硅片周边表面形成的扩散层，会使电池上下电极短路，用掩蔽湿法腐蚀或等离子干法腐蚀去除周边扩散层。(6)去除背面PN+结。常用湿法

，在众多48所的设备产品中，不论是运用军工技术的高温扩散炉、PECVD，还是唯一国产化的丝网印刷机、自动检测分选系统，这些设备在技术与成本上都具有不错优势。

中，不论是运用军工技术的高温扩散炉、PECVD，还是唯一国产化的丝网印刷机、自动检测分选系统，这些设备在技术与成本上都具有不错优势。

工艺设备，如炉外精炼设备、HOD氧化扩散吸杂设备、DVC双真空循环精炼设备、定向凝固设备等，无论从工艺的先进性、设备制作的精良度、自动化控制的水平、对污染排放的严格控制均为世界首创，而多晶硅提纯的效果
，这是光伏产业的必然需求。由上海普罗公司自行研发的PM法太阳级多晶硅提纯技术，采用一系列的先进冶金技术以纯度为2~3N的金属硅作为原料，生产出可直接切片制作太阳能电池用的多晶硅方锭。该方法经过炉外精炼

生产、硅片加工到太阳能电池芯片的生产以及相应的纯水制备、环保处理、净化工程的建设，已经初步具备成套供应能力，部分产品如扩散炉、等离子刻蚀机、单晶炉、多晶铸锭炉等开始少量出口，可提供10种太阳能电池大生产