扩散炉
，产线装备是产业技术的载体、核心，没有装备则不能称其为技术。目前我国在单晶硅CZ炉、多晶硅定向凝固炉、多线切割机已经实现了国产化并成功占领市场，PECVD、扩散炉、制绒电极、印刷、烧结线等产线装备则
的机械损伤层，并在其表面进行凹凸面处理，增加光的折射次数;扩散采用进口CT扩散炉，以液态POCl3作为扩散P源，采用背靠背扩散方式，在硅片表面形成PN结，即在晶体内部实现P型和N型半导体的接触;去
20台、扩散炉20台、刻饰机20台、管式PECVD机4台、丝网印刷机20台、分类检测机26台（具体设备以评估报告为准），产品系列为多晶硅太阳电池。（三）公司财务报表显示，截止2017年4月11日，德鑫
很轻，打不进去，2016年光伏会议上，欧洲我统计了一下六七种方案就是如何把硼掺进去，比如说它的温度高，另外一个它对管的腐蚀，因为硼很容易粘片、粘管，而且你这一降温以后，玻璃管发脆，所以它影响了扩散炉的
很多，但是最终目标所有努力的方向都是降低电站成本，度电成本。现在太阳电池整个技术的进步我们可以分成两种类型的技术进步，第一种就是渐进式的技术进步，就是它整个生产设备的格局基本的概念，比如说扩散等等，这些
，实现背面抛光，但刻蚀量增加会造成碎片率升高，也降低了电池吸收光波的有效厚度;2) 先去除扩散后背面的磷硅玻璃，然后以正面磷硅玻璃为掩膜，用碱溶液进行背面抛光，除了刻蚀量高之外，碱抛光表面少子寿命常低于
为3500 W，硅烷气流量为190 sccm，沉积时间为2 min;将该批硅片进行扩散和刻蚀清洗工艺，刻蚀清洗工序单面减重0.13 g，记为a组( 单面制绒硅片)，掩膜在制绒设备酸洗槽以及刻清设备中被
900MW／年，主要设备配置为清洗机20台、扩散炉20台、刻蚀机20台、管式PECVD机18台、丝网印刷机20台、分类检测机26台（具体设备以评估报告载示为准），产品系列为多晶硅太阳电池;（三）公司财务
，2017年上半年销售近4亿元，全年销售额将突破10亿元。晶澳凭借优质的产品和服务，深受投资者和老百姓的信赖与认可。
电科装备
展台号丨1号展厅 T138
参展聚焦丨
高产能低压扩散炉
M5111-9/UM型低压扩散炉用于太阳能光伏行业中的扩散，氧化，退火工艺。低压扩散反应管为负压环境，扩散源分子的自由行程长，高方阻均匀性好，而且通过密舟可以实现产能翻番，满足太阳能电池制造高效率和高产能的
一、背景技术 在晶体硅太阳能电池生产工艺中，扩散是核心工序。在硅片表面形成均匀的高质量的 p-n 结是电池效率提升的关键，也是工艺追求的目标。目前，常规生产的扩散工艺是在管式的扩散炉内，通过液态
在原本光滑的硅片表面形成凹凸不平的结构，以增强光的吸收; S13、扩散，将P 型的硅片放入扩散炉内，通过硅原子之间的空隙使N 型杂质原子由硅片表面层向硅片内部扩散，形成 PN 结，使电子和空穴在
办公建筑。1952年，法国国家研究中心在比利牛斯山东部建成一座功率为50KW 的太阳炉。1954年，美国贝尔实验室研制成实用型硅电池，被广泛应用于航天工业的人造地球卫星上。1955年，以色列的泰伯等在
一阶段里还有其它一些重要成果，比较突出的有： 1952年，法国国家研究中心在比利牛斯山东部建成一座功率为50kW的太阳炉。1960年，在美国佛罗里达建成世界上第一套用平板集热器供热的氨-水吸收式空调
