扩散炉
高新技术企业，主营产品为PECVD及扩散炉等半导体掺杂沉积工艺光伏设备、清洗、刻蚀、制绒等湿法工艺光伏设备以及自动化(配套)设备等晶体硅太阳能电池生产工艺流程中的主要及配套设备的研发、制造和销售。
能力，部分产品如清洗/制绒机、扩散炉、等离子刻蚀机等已在国内生产线中占据主导地位，但整体技术水平同国际一流厂商相比仍有差距，成套生产线自动化程度低。管式PECVD设备与进口设备并存份额逐步扩大，但全自动
、扩散炉、制绒设备、刻蚀设备等。天合光能、阿特斯、晶科、隆基等龙头企业均为其客户。此外，捷佳伟创近年大力开拓海外市场，目前海外营收占比近40%。2017年，公司五大客户：阿斯特、天鹤集团、隆基、中来光电
的进口低压扩散炉、原子层沉积设备等设备和所需的零部件、原材料免征关税和进口环节增值税。该政策的下发，对于采购进口设备的厂商也是重大利好。基于此，光伏平价上网或许，指日可待。
扩散炉、原子层沉积设备等设备和所需的零部件、原材料免征关税和进口环节增值税。 4、十三部委机关发文：规范产业扶贫和光伏扶贫 杜绝政策养懒汉 从国务院扶贫办官网获悉，近日，13个国家部委、机关
推广166尺寸的硅片，存在的障碍如下：
1、 G6和G7铸锭炉热场、坩埚分别需要扩大6厘米和7厘米，铸锭炉热场需要改造，例如需要采用碳碳复合材料的加热器和碳碳材料的护板，据小编所知，烟台凯泊给协鑫
提供的碳碳护板和碳碳加热器可以帮助扩大铸锭炉空间。碳碳护板8mm厚，而石墨护板25mm厚，可以节省空间34mm;碳碳加热器7mm厚，石墨加热器15mm厚，可以节省16mm厚。这两部分材料的更换就可以
高效多晶硅PERC电池的工艺流程;同时还给出了非PERC电池的工艺流程用于对比。在完成CSI具有知识产权的最先进 黑硅制绒( 金属催化化学刻蚀-MCCE)步骤之后，将电池放到管式炉中进行低压
POCl3扩散以形成n+-Si发射极。然后在下一步移除磷硅酸盐玻璃(PSG)和清除电池背面。
图一：分别展示了传统多晶硅电池(左)和CSI的高效多晶硅PERC电池(右)的工艺流程。
使用原子层沉积
800个，总装机量超50GW，其中叠瓦项目近2GW。 捷佳伟创公司产品主要为光伏电池片工艺设备，包括PECVD、扩散炉、自动化设备、制绒设备四类。据半年报披露，当期公司扩散炉营收同比增长160%，自动化
结的专用设备为管式扩散炉。管式扩散炉主要由石英舟、废气室、炉体和气柜等部分构成。工业生产一般使用三氯氧磷液态源作为扩散源。把P型硅片放入扩散炉的石英容器内，使用小股的氮气携三氯氧磷进入石英容器，在高温
含量铝粉和小粒径铝粉活性较高，铝粉和玻璃粉的反应温度较低，铝硅原子间扩散程度较大，可获得较厚的铝背场和较低的填充率;适中的烧结温度能够平衡填充率和铝背场厚度，峰值烧结温度为778.6℃时，填充率达到
工艺下PERC 铝浆对电池片填充率、BSF 厚度和电性能的影响。
1 实验部分
1.1 实验设备及原料
HSH2503-0510Z 型红外快烧网带炉， 合肥恒力电子装备公司;BT-9300ST
