微晶硅太阳能电池
处理，制作背电极，即制成多晶硅薄膜太阳能电池。
上述结构不但有效地降低串联电阻，还能增加背反射。在10cm10cm面积上获得转换效率为14. 22％的多晶硅薄膜太阳电池。
4．1．3 等离子
速率大于10m／s。
用等离子体喷涂沉积多晶硅薄膜太阳电池，全部采用低温等离子CVD工艺。用碱或酸溶液腐蚀沉积的多晶硅层，在其上于200℃用等离子CVD形成厚度约20010-8cm的微晶硅作为
研发阶段。目前，铸造多晶硅太阳能电池已经取代直拉单晶硅成为最主要的光伏材料。但是铸造多晶硅太阳能电池的转换效率略低于直拉单晶硅太阳能电池，材料中的各种缺陷，如晶界、位错、微缺陷，和材料中的杂质碳和氧
三菱电机利用156mm多晶硅太阳能电池片，使光电转换效率达到了18.0％。对此进行评估的是官方认证机构产业技术综合研究所。可在同一面积的情况下，使发电量比以往增加7％，即使是在屋顶面积狭小等
的有限的设置空间，也可以确保足够的发电量。 为了提高太阳能电池单元的效率，三菱电机使用了三项自主开发技术。一，通过使用纳米掩膜材料的RIE（Reactive Ion Etching）法
包括：柔性衬底太阳能电池、聚光太阳能电池、HIT异质结太阳能电池、有机太阳能电池、纳米非晶硅太阳能电池、机械叠层太阳能电池、薄膜非晶硅/微晶硅叠层太阳能电池等。 技
生产设备中运用Synova创新性的激光微喷技术。 新的Synova—Manz解决方案将被用来提高效率，从而进一步降低单晶硅和多晶硅太阳能电池的切割、打眼
，主要包含有硅薄膜类（非晶硅a-Si、微晶硅μc-Si、迭层型a-Si/μc-Si等）与化合物半导体薄膜类（铜铟镓硒CIS/CIGS、镉碲CdTe），而新概念的有机染料类（染料敏化DSC、有机导电
ITIS计划项目经理李雯雯表示，目前的太阳电池以结晶硅太阳电池为主流，市占率超过九成，然而近年因上游硅材短缺，导致原料成本不断增高，因此对硅材依赖度低的下一代太阳电池成为注意的焦点。下一代代太阳电池种类众多
多晶硅太阳能电池切割、钻孔以及边缘绝缘的成本。根据协议约定，Synova 公司将率先开展与这一组合工具相关的研发工作，同时Manz 自动化公司将推动这一成果在全球范围内的制造、销售以及服务等运营
制程的效率。同时，在晶硅太阳能电池的制造中也将开发出很多全新的应用。”Manz进一步补充说：“作为光伏制造领域全球领先的激光处理系统供应商之一，Synova公司的Laser MicroJet技术将帮助我们进一步增进并拓展我们在这一市场的领先地位。”
