太阳能电池钝化层

2.1 等离子增强化学气相沉积 在生产制造HJT太阳能电池的过程中，PECVD扮演着最重要的角色。其不仅决定着对产品性能起至关重要作用的钝化效果，同时也占据了最大的设备成本。非晶硅钝化层由精曜(苏州

新材料和结构的太阳能电池的统称。已经提出的第三代太阳电池主要有叠层太阳电池、多带隙太阳电池和热载流子太阳电池等。 这些电池结构采用不同的技术途径解决了电池的栅线细化、选择性扩散、表面钝化等问题，可以

。已经提出的第三代太阳电池主要有叠层太阳电池、多带隙太阳电池和热载流子太阳电池等。这些电池结构采用不同的技术途径解决了电池的栅线细化、选择性扩散、表面钝化等问题，可以将电池产业化效率提升2~3个百分点
。其中，PERL（钝化发射极背部局域扩散）（PassivatedEmitterandRearLocally-diffused）电池是钝化发射极、背面定域扩散太阳能电池的简称，效率达到24.7％，接近

，据报道，尽管此前中国台湾厂家曾一度升级P型单晶硅太阳能电池生产线，以增产PERC(背钝化技术)P型单晶硅太阳能电池，但由于市场对转换效率达17.8%的P型多晶硅太阳能电池的需求极为强劲，加之考虑到升级

大陆进口保利协鑫多晶硅片。 另一方面，据报道，尽管此前中国台湾厂家曾一度升级P型单晶硅太阳能电池生产线，以增产PERC（背钝化技术）P型单晶硅太阳能电池，但由于市场对转换效率达17.8%的P型

厂家曾一度升级P型单晶硅太阳能电池生产线，以增产PERC(背钝化技术)P型单晶硅太阳能电池，但由于市场对转换效率达17.8%的P型多晶硅太阳能电池的需求极为强劲，加之考虑到升级PERC P型单晶硅

堆叠然后金属化的镭射切除方法，使得该电池的镍/铜/银能正面接触。此后钝化堆叠包含一个薄（10nm）ALD沉积氧化铝层。n-PRET太阳能电池工业提供高电池效率，并具备富有竞争力的成本结构。IMEC的

工具，通过后钝化堆叠然后金属化的镭射切除方法，使得该电池的镍/铜/银能正面接触。此后钝化堆叠包含一个薄（10nm）ALD沉积氧化铝层。n-PRET太阳能电池工业提供高电池效率，并具备富有竞争力的成本结构

Cells将在其位于德国塔尔海姆的总部，使用先进技术设备对SoLayTec旗下InPassion系列ALD系统在高效太阳能电池上的表现进行评估。我们的目标是向太阳能产业表明，在晶硅太阳能电池的钝化

6 样片2 LBIC Current 测试 然后，电池经过去SiN 膜、去正反电极、去铝背场和n 型层，再经碘酒钝化后，硅片少子寿命测试如图7 和8 所示。图7 样片1 少子寿命测试
。【2】张光春，硅片质量对太阳能电池性能的影响，尚德电力控股有限公司。【3】单晶位错对电池性能的影响，尚德电力控股有限公司。【4】形成黑芯片、黑斑片主要成因，尚德电力控股有限公司。独家申明：凡注明