太阳能电池钝化层

包括单晶硅和多晶硅太阳能电池两种，生产工艺成熟，技术路线稳定，光电转化效率高，市场占有率高。实验室研发的钝化发射极背部局域扩散（PREI）单晶硅太阳能电池光转化效率已达到24.7%，商品化电池组件
丰富、绿色环保、分布广泛，备受世人青睐。近年来，在国家和地方政府积极推动下，太阳能光伏产业展开了全方位、多层次的尝试和努力，取得了显著成效。1、太阳能光伏电池分类太阳能电池按其所用原料不同可以分为晶体硅

的高效电池生产技术，包括重点背场钝化（PERC）电池、金属穿孔卷绕（MWT）电池、N型电池、异质结电池（HIT）、背接触电池（IBC）电池、叠层电池、双面电池等；拓展硅基薄膜太阳能电池应用范围，发展
生产设备、大容量高效率多晶铸锭炉和单晶炉、多线切割机、硅片测试分选设备、多晶在线制绒设备、减压扩散炉、全自动丝网印刷机等的研发与产业化。研发晶硅太阳能电池自动化生产线，实现整线交钥匙能力。加快高效电池用

下半年加强优势。此外，Amtech被美国能源部SunShot计划授予合作，总计约一百万美元，专注于晶硅太阳能电池技术的进步，尤其是在掺杂和表面钝化技术的关键专业领域。
间歇期，但是我们很高兴报告较去年同期订单增加79%，以及目前和潜在客户活动强劲的报价活动。尽管在他们的资本支出计划中该市场只是一项选择，但是对于新一代、更高效率的太阳能电池和组件解决方案的投资是全球私营

，Amtech被美国能源部SunShot计划授予合作，总计约一百万美元，专注于晶硅太阳能电池技术的进步，尤其是在掺杂和表面钝化技术的关键专业领域。 原标题:Amtech第四财季太阳能销售额下滑
我们很高兴报告较去年同期订单增加79%，以及目前和潜在客户活动强劲的报价活动。尽管在他们的资本支出计划中该市场只是一项选择，但是对于新一代、更高效率的太阳能电池和组件解决方案的投资是全球私营和公共利益

制备太阳能电池的工艺流程图。制备了正面只有Al2O3的黑硅太阳能电池，同时制备了正面具有倒金字塔结构和Al2O3/SiNx钝化层的电池作对照组。对照组电池和黑硅太阳能电池唯一的不同是正面的倒金字塔结构和

峰高度为300nm，电池效率为15.99%，短路电流密度为34mA/cm2。关键词：黑硅、绒面结构、太阳能电池、接触电阻、转换效率1 引言众所周知，由于大气和硅片接触面折射率的突然变化，去除机械损伤层后的
硅片表面反射率高达40%。降低硅片表面反射率增加光吸收是提高多晶硅太阳能电池转换效率的一个重要方向。在硅片表面沉积具有过渡折射率的减反射层（如SiNx）是一种可以有效减反射的方法，但表面制绒是一种更稳

晶硅太阳能电池的表面钝化一直是设计和优化的重中之重。从早期的仅有背电场钝化，到正面氮化硅钝化，再到背面引入诸如氧化硅、氧化铝、氮化硅等介质层的钝化局部开孔接触的PERC/PERL设计。虽然这一结构

0.4%(绝对值)的电池效率增益，成为业界首家将该技术实现产业化的太阳能电池公司。如图1所示，这一技术大大加快了多晶电池效率的提升速度，使得多晶电池量产效率有望在2016年底提前达到19%。阿特斯开发
了一步。但是，他们一直未能解决好黑硅表面钝化难题，使得湿法黑硅技术一直停留在实验室阶段。湿法黑硅技术基本原理如图2所示，采用 Au、Ag等贵金属粒子随机附着在硅片表面，反应中金属粒子作为阴极、硅作为阳极

生产线，实现0.4%（绝对值）的电池效率增益，成为业界首家将该技术实现产业化的太阳能电池公司。如图1所示，这一技术大大加快了多晶电池效率的提升速度，使得多晶电池量产效率有望在2016年底提前达到19
解决好黑硅表面钝化难题，使得湿法黑硅技术一直停留在实验室阶段。湿法黑硅技术基本原理如图2所示，采用Au、Ag等贵金属粒子随机附着在硅片表面，反应中金属粒子作为阴极、硅作为阳极，同时在硅表面构成微电化学

电池效率增益，成为业界首家将该技术实现产业化的太阳能电池公司。如图1所示，这一技术大大加快了多晶电池效率的提升速度，使得多晶电池量产效率有望在2016年底提前达到19%。阿特斯开发的湿法黑硅成本优于RIE
初步的研究；直到2009年，美国国家可再生能源实验室（NREL）的Branz博士提出了全液相黑硅制备方法，将湿法黑硅技术朝产业化方向又推进了一步。但是，他们一直未能解决好黑硅表面钝化难题，使得湿法