太阳能电池钝化层
： 掩模和CVD原位掺杂制备背面PN区 电池正面沉积本征非晶硅钝化层 PN区与基区之间沉积本征非晶硅钝化层 PN区与金属电极之间沉积TCO层 单面丝网印刷，无主栅或多主栅 兼容
创新能力，成为行业中提供TOPCon核心工艺设备和整体解决方案的领军企业，助力双碳时代太阳能电池技术的革新。
夸父系列KF15000原子层沉积(ALD)系统
TOPCon电池具有
电池技术相关的先进工艺、装备和量产化整体解决方案创新与开发，早在2019年SNEC光伏展上，微导在全球率先发布了基于原子层沉积为核心的TOPCon高效电池技术(AEPTM技术)。同时，为了解决传统技术
制造商EcoSolifer提供的技术生产异质结太阳能电池。
异质结太阳能电池是一种已经大规模生产的技术，预计未来十年其市场份额将显著增长。它们依靠一层非晶硅来提供钝化并改善电池性能
。
EcoSolifer于2020年在匈牙利的一家100 MW工厂利用异质结专家Meyer Burger提供的生产线开始其双面异质结太阳能电池的商业化生产。该公司表示，该工厂生产的电池目前已达到24.1%的转换效率
3年的主流技术，在市场竞争日益加剧的趋势下，进一步提升PERC电池的量产效率，先进产能加速淘汰落后产能将是主旋律。
谈及高效晶硅太阳能电池的未来产业趋势时，吕俊博士认为钝化接触技术是
以来，晶硅电池产业快速发展。根据晶硅电池效率经验模型, 单结硅基太阳能电池理论效率极限29.43%。目前产业化的高效电池主要是：P型PERC电池，N型TOPCon和HJT电池为主。PERC仍将是未来
%效率的晶体硅太阳电池均采用了钝化接触结构。早在2017年，中来光电就在量产电池中使用钝化接触结构技术，运用的是一种基于选择性载流子原理的隧穿氧化层钝化接触(Tunnel Oxide
TOPCon电池以N型硅片作为基底，利用钝化接触技术在电池背面制备超薄的可隧穿氧化层和高掺杂的多晶硅薄层，形成正背面沉积SiNx膜。N型TOPCon电池双面率可达80%以上，弱光响应好，转换效率高，可由现有
组件效率。目前正泰新能源N型TOPCon电池实验室效率已达24%+，步入行业N型太阳能电池第一梯队高效水平。
户用光伏安心之选正泰电源逆变器
近些年全球范围对绿色环保和智能生活的追求，推动
发明了掺杂元素选择性空间分布和叠层钝化膜结构及其制造技术。针对载流子传输难题，提出了掺杂元素空间选择性分布方案，发明了分布式梯度扩散掺杂制造技术;此外，还发明了表界面物理化学协同钝化多叠层膜结构及其钝化制造
，并以国家最高礼遇进行授奖。 天合光能主导的高效低成本晶硅太阳能电池表界面制造关键技术及应用项目，率先发明了掺杂元素选择性空间分布和叠层钝化膜结构及其制造技术。针对载流子传输难题，提出
1. TOPCon技术介绍
隧穿氧化层钝化接触太阳能电池(Tunnel Oxide Passivated Contact solar cell,TOPcon)是2013年在第28届欧洲
PVSEC 光伏大会上德国 Fraunhofer太阳能研究所首次提出的一种新型钝化接触太阳能电池，首先在电池背面制备一层 1～2nm 的隧穿氧化层，然后再沉积一层掺杂多晶硅，二者共同形成了钝化接触结构，为
电流密度;同时，开发了新的本征层结构，大幅度改善钝化性能，提高Voc达2mV。 除此之外，团队还首次尝试了完全无铟的TCO工艺，其电池经ISFH认证，效率超过25%，为HJT电池产业化提供了极具
40.49mA/cm。
与今年6月隆基发布的25.26%转换效率的 HJT电池相比，近两次的世界纪录电池主要在以下几个方面做了优化和提升：首先，优化了微晶N窗口层，进一步提升
