太阳能基板

们丰富的高产光盘沉积设备（CDDVD蓝光）经验与我们领先的纳米涂层技术结合起来。” 这导致了第一个适用于大规模生产的单基板纳米机器。晶体太阳能业务现在是Oerlikon Systems的SOLARIS
日前，Oerlikon Systems首次展示革命性的生产解决方案SOLARIS，它可简化晶体太阳能电池的制造。Oerlikon Systems业务部门主管Andreas Dill说：“诀窍是将我

209 nm。他们选择以InP来发展太阳能电池，是因为比起GaAsInP受表面态(surface state)的影响较小，因此载子复合损失也较低。要生长纳米线而非连续层的关键，在于在InP基板顶端20
，共同研究出磷化铟(InP)的核壳(core-shell)结构纳米线太阳能电池，并宣称其个别转换效率高达12.3%。北海道大学的Junichi Motohisa表示，壳核纳米线太阳能电池在光吸收与载子

锂离子电池、薄膜太阳能电池和新型印刷电路板等产品的研发生产能力，初步形成完整配套、相互支撑的电子元器件产业体系。加快发展无污染、环保型基础元器件和关键材料，提高产品性能和可靠性，提高电子元器件和基础材料的
新型显示面板生产、整机模组一体化设计、玻璃基板制造等领域实现关键技术突破。 　　提高软件产业自主发展能力。依托国家科技重大专项，着力提高国产基础软件的自主创新能力。支持中文处理软件(含少数民族语言软件

太阳能制造产业先进技术和工艺支持的全球供应商DEK在SNEC 2009上推出其下一代晶体硅PV金属镀膜生产线解决方案PV3000，通过采用3个印刷头同时工作设计，对150微米硅晶圆印刷产量由先前
PV1200的25KW/小时提高至75KW/小时，构成高产能晶硅太阳能电池金属镀膜PV3000的最大特点。 据DEK深圳公司可替代能源项目经理张敬元介绍，PV3000继承了DEK印刷设备的杰出精度和

目前商业化生产的薄膜硅太阳能电池主要分为非晶硅(a-Si)薄膜和非晶/微晶硅 (a-Si / μc-Si) 叠层薄膜。其生产工艺首先是在玻璃基板上制造透明导电氧化物(TCO)，然后再通过PE C V
D方法沉积p型、i型和n型薄膜，最后用溅射做背电极。目前工业化的TCO制备方法有溅射法(Sputter)和化学气相沉积法(CVD)，分别在玻璃基板上形成ZnO:Al或ZnO薄膜。化学气相沉积通常使用

新一代高性价比、高产能、高可靠性的非晶硅薄膜太阳能电池生产线。 其核心设备：新一代等离子强化型化学气相沉积（PECVD）系统拥有完全自主知识产权，在多基板-致密沉积类别的设备家族中，解决了射频不稳定和
2009年4月28日，上海曙海太阳能有限公司经过不懈努力，成功研制的中国首条高度创新，独立设计制造的硅薄膜光伏组件规模化生产线：双星3000工艺全线贯通。这标志着我国在中国成为世界光伏产业制造大国的

Solar Cell)，则是一种利用溅镀或是化学气相沉积方式，在玻璃或金属基板上，生成薄膜的薄膜太阳能生产方式。其制程是先清洗玻璃基板(Glass Cleaning)，而后藉由化学气象沉积(PECVD

我国自主开发的“双星—3000”薄膜太阳能电池生产线工艺全线贯通 2009年4月28日，上海曙海太阳能有限公司经过不懈努力，成功研制的中国首条高度创新，独立设计制造的硅薄膜
创新阶段。 曙海太阳能公司位于上海市南汇工业园区，是一家专业从事设计、生产、销售硅薄膜太阳能（光伏）电池生产线和整套工艺开发的高科技企业。曙海的创业团队是由一批在太阳能和半导体设备制造领域有着

薄膜硅太阳能电池组件的生产线，其面积是目前太阳能电池生产中所使用的最大基板的4倍。 　　第二，是由“新奥”产出全球最大硅基薄膜太阳能电池。河北新奥光伏能源有限公司与合作方美国应用材料公司一年多

组件生产线于2009年4月14日在全球率先取得生产验收认证。该生产线使用5.7平米的超大基板，制造的太阳能光伏组件效率可高达8%，产品良率和年产量等指标都符合标准。该生产线目前已经开始量产。 应用材料
取得成功，这正是应用材料公司核心竞争力所在。” 薄膜双结太阳能面板每瓦的硅使用量仅仅是传统晶体硅太阳能面板的1/50。通过双结技术和5.7平米超大面积基板的结合，再加上大规模的生产能力