北京市太阳能研究所赵玉文等报道了以SiH2Cl2为原料气体,采用快速热化学气相沉积(RTCVD)工艺在石英反应器中沉积多晶硅薄膜。气源为H2和SiH2Cl2的混合物,石英管内配有石墨样品托架,采用程控
副产物,这样使得工艺条件难以控制,从而影响工艺重现性和太阳能电池性能的稳定性。
3.5.2周期性电脉冲沉积法
用周期性脉冲电化学沉积技术制备Cds/CdTe太阳电池有以下优点:(1)可将
单晶硅高效电池的典型代表是斯但福大学的背面点接触电池(PCC),新南威尔士大学(UNSW)的钝化发射区电池(PESC,PERC,PERL以及德国Fraumhofer太阳能研究所的局域化背表面场
下为22.3%。 (3)德国Fraunhofer太阳能研究所的深结局部背场电池(LBSF) LBSF的结构与PERL电池类似,也采用TCA氧化层钝化和倒金字塔正面结构。由于背面硼扩散一般造成
(Nitol Group)出售多晶硅反应器。GT太阳能公司将为Nitol集团位于西伯利亚伊尔库次克的生产工厂安装反应器及四氯化硅转炉。GT公司负责多晶硅业务的副总裁David Keck说:“我们很高兴同