为国际社会普遍关注的焦点之一,全人类又都把目光集中到解决这两个问题的交叉点---太阳能光伏发电上,从而大大加速了开发利用的步伐。此后,随着生产规模的不断扩大、技术的日益提高,单晶硅太阳电池的成本也逐渐下降
目前,制备多晶硅薄膜的工艺方法主要有以下几种:
(1)化学气相乘积法(CVD法)
(2)等离子体增强化学气相沉积法(PECVD法)
(3)液相外延法(LPE)
(4)等离子体溅射沉积法
。在晶体生长中受应力等影响造成缺陷越多的硅材料,氢钝化的效果越好。氢钝化可采用离子注入或等离子体处理。在多晶硅太阳电池表面采用pECVD法镀上一层氮化硅减反射膜,由于硅烷分解时产生氢离子,对多晶硅可
供电及建设同期短的优点。 光伏发电系统主要由太阳能电池、蓄电池、控制器和逆变器构成。光伏发电系统可分为独立太阳能光伏发电系统和并网太阳能光伏发电系统:独立太阳能光伏发电是指太阳能光伏发电不与电网连接