是为了降低成本,其优点是能直接制备出适于规模化生产的大尺寸方型硅锭,设备比较简单,制造过程简单、省电、节约硅材料,对材质要求也较低。晶界及杂质影响可通过电他工艺改善;由于材质和晶界影响,电池效率较低。电池工艺主要
近日,国家863计划项目超大规模集成电路配套材料重大专项中的TDR-150型单晶炉(12英寸MCZ综合系统)项目在北京正式通过科技部的验收,这标志着拥有自主知识产权和核心技术的大尺寸
集成电路与太阳能用单晶硅生长设备,在我国首次研制成功。
单晶炉是直拉法制备硅单晶的关键技术装备,所制备的硅单晶主要用于集成电路元件和太阳能电池。在我国,以单晶炉为代表的晶体生长设备一直存在