多线硅片切割机

)主要分布在珠三角地区，主要涉及光刻机、清洗系统、探针台、划片机、粘片机、焊线机等产品；太阳能光伏(含太阳能硅片及电池片)设备产品的客户主要分布在长三角地区，涉及多线切割机、印刷机、清洗制绒系统、甩干

，最关键的工序为硅片和电池片制造。在硅片加工工序中，用量最多的多线切割机目前国内尚未商品化；而占电池片制造工序全部投入近1/3的全自动印刷系统装备也是100%进口。只有实现多线切割机和全自动印刷系统完成

生产线(25MW/条)47条。按现时每条线设备3000万元的平均投资计算，设备市场高达14亿元。如果算上用于解决硅片短缺而用于购买材料制造设备如多晶硅铸锭炉、单晶炉、切割机、线锯等的投资，国内相关设备的市场总额

，这段直径固定的部分即称为等径部分。单晶硅片取自于等径部分。 　　（6）尾部生长：在长完等径部分之后，如果立刻将晶棒与液面分开，那么效应力将使得晶棒出现位错与滑移线。于是为了避免此问题的发生，必须
：指单晶硅片表面需要改善微缺陷，从而获得高平坦度晶片的抛光。 　　抛光的设备：多片式抛光机，单片式抛光机。 　　抛光的方式：粗抛：主要作用去除损伤层，一般去除量约在10－20um

。 （3）硅片加工技术 常规的硅片切割采用内圆切片机，其刀损为0．3一0． 35mm，使晶体硅切割损失较大，且大硅片不易切得很薄。近几年，多线切割机的使用对晶体硅片的成本下降具有明显作用。多