型背

受益于氧化铝钝化硅表面技术的革新，最近钝化发射极和背表面电池(PERC: Passivated Emitter and Rear Cell)概念在硅光伏工业领域显示出了复苏迹象，并推动了P型太阳能
，开路电压也将因为短路电流密度的增大和二极管背电极复合电流减小而有所提高。通过在背部使用氧化物钝化层和局部扩散电极，结合在前表面采用倒金字塔结构和减反射膜，赵先生和他的合作者在1998年报告了在使用P型

，最早在1983年由澳大利亚科学家Martin Green提出。PERC近年来效率记录不断被刷新，将成为未来三年内最具性价比的技术。 PERC电池与常规电池最大的区别在于背表面介质膜钝化，采用局域
金属接触，有效降低背表面的电子复合速度，同时提升了背表面的光反射。 PERC电池实验室制备采用了光刻、蒸镀、热氧钝化、电镀等技术，而产业化PERC工艺采用了PECVD(或ALD)法钝化、激光开孔

，中来N型双面TOPCon电池背面采用多晶硅隧穿电极接触结构，正反两面均由覆盖SiNx减反膜，金属化由丝网印刷完成，由于两面栅线结构都是常规的H型，因此TOPCon电池不仅正面可以吸收光，其背表面也能从

光伏组件的需求。 随后，宋登元博士全面论述了近年来晶体硅光伏技术的进展，特别是英利研发的高效熊猫电池、新型TOPCon钝化接触电池、双面IBC背接触电池的技术的研发和产业化情况，总结了晶体硅太阳电池的
研发及产业化方向。高效组件将成为市场主流，尤其是以N型单晶双面发电技术为核心的高效组件。宋登元博士表示，从国家领跑者招标和实际运行情况来看，N型单晶双面发电技术极具优势。英利熊猫就是基于N型单晶初始光

内容摘要 介绍了一种通过调整背钝化工艺改善多晶硅背钝化电池缺陷的方法。采用背钝化新型电池片工艺，在正常生产过程中EL会呈现有规律的区域发暗，严重影响电池片性能。本文通过优化PECVD工艺时间和退火

20-20.5%左右。工业化大面积单晶PERC和多晶PERC电池的最高转换效率分别达到22.6%和21.63%。PERC电池还有很大的效率提升空间，发射极、背面铝背场、主栅、硅片质量等还有优化空间
，相比于PERC单面产品，PERC双面产品仅在电池的丝网印刷工序做了调整和优化，因此成本基本同PERC单面产品。相比于常规单/多晶以及PERC单晶，P型PERC双面组件可有效降低光伏电站的LCOE，以10

转换为四面体结构，产生间隙态氧原子，间隙态氧原子夺取p型硅中的价态电子，形成固定负电荷，使Al2O3薄膜显出负电性，在Al2O3/Si界面产生一个指向硅片内部的界面电场，使载流子可迅速逃离界面，降低界面
80nm，折射率为2.0。当Al2O3镀膜时间为60s时，使用SENTECHSE800型椭偏仪测试Al2O3厚度为25nm，假定Al2O3薄膜生长速率恒定，通过调整镀膜时间来调整Al2O3薄膜厚度。使用

完全接触，而PERC 太阳电池铝背场是通过激光开窗的空洞区域与硅片进行局部接触。 图3 为n 型晶体硅太阳电池结构示意图。n型晶体硅太阳电池较p 型晶体硅太阳电池具有少子寿命高、光致衰减小等

压及以下参数机组，鼓励次高温次高压机组改造为高温高压背压机组，推广利用优质煤、洁净型煤，提升机炉能源利用效率。建设和完善热网工程，对有效集中供热区域内纺织、印染行业导热油锅炉进行全面排摸，推进中温中压
电机、风机、水泵、S9(SCB9)型及以下变压器20万千瓦(千伏安)以上。推广能源梯级利用、流程再造、分布式冷热电三联供等能量系统优化工艺技术，推动企业节能从局部、单体向全流程、系统节能转变，每年实施

;氮氧化硅(SiONx)早期Solar Word以及现在的爱旭、润阳等;氧化铝(AlOx)现在主流厂家都采用氧化铝和氮化硅叠层膜的背钝化膜结构。 氧化铝和氮化硅叠层膜叠层结构作为P型PERC背面
21.3-21.8%. 不过，这还与世界最高纪录相差很大2017年日本KANEKA公司的Yoshikawa等人以一种基于叉指背接触(IBC)技术和异质结钝化技术(HIT)的新型叉指背接触异质晶硅太阳能