。 锦州市现有规模以上硅材料生产企业12家,其中生产工业硅、单晶硅及硅片、石英坩埚等直接用于太阳能电池及配套产品生产的光伏企业8家,主导产品为单晶硅锭和硅片,产品性能达到国际先进、国内领先水平
2007年,当全球众多光伏企业都为缺少原料、成本高昂犯愁时,晶龙集团却“风景这边独好”,由于拥有稳定的原料来源,而且能够自己生产石英坩埚,1至6月份,该集团实现销售收入26亿元。
“石英坩埚
能够自己生产,不仅降低了成本,而且使企业发展摆脱了受制于人的局面。”晶龙集团董事长靳保芳介绍说。晶龙集团依靠自己的研发队伍,2002年,成功生产出拥有自主知识产权的石英坩埚,不仅打破了国外技术垄断,改变
Ceradyne公司(CRDN)周三公布了在天津建立占地9800平方英尺的工厂的计划,新的工厂生产用于多晶硅锭铸造中所需的材料——高纯石英坩埚。 Ceradyne补充说天津工厂将由美国总部对中国
中心距、籽晶夹头结构与尺寸、坩埚杆连接形式、控制操作形式等规格不统一,给用户的使用、配套消耗品的选择、工艺系统的配备等方面造成一定的麻烦,甚至影响到标准工艺的推广应用和最终产品的质量,缺乏行业沟通与协调
、保温材料、大尺寸高质量石英坩埚等已形成行业发展的瓶颈。大尺寸薄膜材料的研究生产成为一个非常大的课题,短期内难以实现,但可以在替代材料上做一些研究工作。目前,国内已有专家教授研究成功了炭-炭复合材料,用来
,可用于带状硅晶体的生长;2.由坩埚所带来的沽污少,又可用于正一V族晶体的生长;3.没有热对流,还可用于难于获得均匀的其它化合物半导体和合金的生长。采用MCZ法,抑制了熔体的热对流,起到了在宇宙空间
发生如图1所示的热对流。这种热对流的驱动力可用无量纲瑞利数NRa来表示,加热器热对流氧硅熔体石英坩埚。 图1 CZ法中熔体的热对流与氧的分布 式中,a为熔体的热膨胀系数,g为重
其次是纯度控制,虽说国产坩埚也都采用了进口的原料,但在坩埚生产过程中各种因素的杂质沾污,导致最终坩埚成品的纯度大打折扣。国产坩埚一般都缺少测试手段,原料纯度由供应商保证,坩埚的纯度只能靠工艺
直拉法生产硅单晶,必须使用石英坩埚。石英坩埚按生产的硅单晶的级别分类有电子级和太阳能级,而电子级又根据产品的类别对石英坩埚有不同的要求。多年来通过石英坩埚及硅材料厂家的相互配合与支持,石英坩埚的
主要设备:CZ生长炉
CZ法生长炉的组成元件可分成四部分
(1)炉体:包括石英坩埚,石墨坩埚,加热及绝热元件,炉壁
(2)晶棒及坩埚拉升旋转机构:包括籽晶夹头,吊线及拉升旋转元件
)加料:将多晶硅原料及杂质放入石英坩埚内,杂质的种类依电阻的N或P型而定。杂质种类有硼,磷,锑,砷。
(2)熔化:加完多晶硅原料于石英埚内后,长晶炉必须关闭并抽成真空后充入高纯氩气使之维持一定