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见一斑。目前,在国内,绝大多数多晶硅生产厂家采取的是国际上流行的多晶硅生产工艺,即改良西门子法。在四川新光硅业科技有限责任公司(以下简称新光硅业)工地现场,副总经理刘小飞向记者讲述了多晶硅的生产流程,如消化剂。目前已经形成了一定的规模。四氯化硅的众多处理方法中,热氢化才是根除污染的最佳途径。四氯化硅热氢化处理方法的好处在于,副产品四氯化硅可转化成三氯氢硅再利用,氯化氢能够通过封闭系统回收再利用