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集成电路与太阳能用单晶硅生长设备,在我国首次研制成功。 单晶炉是直拉法制备硅单晶的关键技术装备,所制备的硅单晶主要用于集成电路元件和太阳能电池。在我国,以单晶炉为代表的晶体生长设备一直存在
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